Anillo de grafito recubierto de carburo de silicio CVD

Descripción breve:

El anillo de grafito recubierto de carburo de silicio de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un rendimiento constante y fiable durante un período prolongado. Ofrece una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución ideal para aplicaciones de procesamiento de obleas.

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Detalle del producto

Etiquetas de productos

Propiedades típicas del material base de grafito:

Densidad aparente:	1,85 g/cm3
Resistividad eléctrica:	11 μΩm
Resistencia a la flexión:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureza Shore:	58
Ceniza:	<5 ppm
Conductividad térmica:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Suministramos diversos susceptores y componentes de grafito para todos los reactores de epitaxia actuales. Nuestros productos incluyen susceptores de barril para unidades LPE, susceptores tipo pancake para unidades LPE, CSD y Gemini, y susceptores de oblea única para unidades aplicadas y ASM.

Al combinar sólidas alianzas con fabricantes de equipos originales líderes, experiencia en materiales y conocimientos de fabricación, vet ofrece el diseño óptimo para su aplicación.

VET Energy es elFabricante real de productos de grafito y carburo de silicio personalizados con recubrimiento CVD,puede suministrarvariosPiezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica. ONuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede brindar soluciones de materiales más profesionales.para ti.

FCaracterísticas de nuestros productos:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700°C.
2. Alta pureza yuniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estructura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99.99995%
热容 / Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa, curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / TermayoConductividad	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1