Cincin Grafit Dilapisi Silikon Karbida CVD

Katrangan Cekak:

Cincin grafit dilapisi silikon karbida VET Energy minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Cincin iki nduweni tahan panas lan keseragaman termal sing apik banget, kemurnian dhuwur, tahan erosi, dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.

Kirim email menyang kita Unduh minangka PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Sifat Khas Bahan Grafit Dasar:

Kapadhetan Katon:	1,85 g/cm3
Resistivitas Listrik:	11 μΩm
Kekuatan Fleksibel:	49 MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan Pantai:	58
Awu:	<5ppm
Konduktivitas Termal:	116 W/mK (100 kkal/mhr-℃)

Kita nyedhiyakake macem-macem susceptor lan komponen grafit kanggo kabeh reaktor epitaksi saiki. Produk kita kalebu susceptor barel kanggo unit LPE, susceptor pancake kanggo unit LPE, CSD, lan Gemini, lan susceptor wafer tunggal kanggo unit terapan lan ASM.

Kanthi nggabungake kemitraan sing kuwat karo OEM terkemuka, keahlian bahan, lan kawruh manufaktur, vet nawakake desain sing optimal kanggo aplikasi sampeyan.

Energi VET yaiku ingProdusen nyata produk grafit lan silikon karbida khusus nganggo lapisan CVD,bisa nyedhiyakakemacem-macembagean khusus kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik. OTim teknis sampeyan asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi materi sing luwih profesionalkanggo kowé.

FFitur-fitur produk kita:

1. Tahan oksidasi suhu dhuwur nganti 1700℃.
2. Kemurnian dhuwur lankeseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik banget: reagen asam, alkali, uyah lan organik.
4. Kekerasan dhuwur, permukaan kompak, partikel alus.
5. Umur layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD (Kerusakan Jantung) SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 Kapadhetan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2 ~ 10μm
纯度 / Kemurnian Kimia	99.99995%
热容 Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuwatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
导热系数 / TermalKonduktivitas	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4.5×10^-6K^-1