Bague en graphite revêtue de carbure de silicium CVD

Brève description :

L'anneau en graphite revêtu de carbure de silicium VET Energy est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue période. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une excellente uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Propriétés typiques du matériau de base en graphite :

Densité apparente :	1,85 g/cm3
Résistivité électrique :	11 μΩm
Résistance à la flexion :	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureté Shore :	58
Cendre:	<5 ppm
Conductivité thermique :	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Nous fournissons divers suscepteurs et composants en graphite pour tous les réacteurs d'épitaxie actuels. Nos produits comprennent des suscepteurs tonneaux pour unités LPE, des suscepteurs pancake pour unités LPE, CSD et Gemini, ainsi que des suscepteurs mono-wafer pour unités appliquées et ASM.

En combinant des partenariats solides avec des équipementiers de premier plan, une expertise en matériaux et un savoir-faire en matière de fabrication, vet propose la conception optimale pour votre application.

VET Energy est levéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiverspièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque. ONotre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

Fcaractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700°C.
2. Haute pureté etuniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure cristalline	Phase β du FCC多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / Granulométrie	2 à 10 μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 / Module de Young	430 Gpa 4pt courbé, 1300℃
导热系数 / ThermalConductivité	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1