CVD grafitni prsten obložen silicijum karbidom

Kratak opis:

VET Energy grafitni prsten obložen silicijum-karbidom je visokoperformansni proizvod dizajniran da pruži konzistentne i pouzdane performanse tokom dužeg perioda. Ima super dobru otpornost na toplotu i termičku ujednačenost, visoku čistoću i otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjenu u obradi pločica.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

Tipična svojstva osnovnog grafitnog materijala:

Prividna gustoća:	1,85 g/cm3
Električna otpornost:	11 μΩm
Fleksibilna čvrstoća:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdoća po Shoreu:	58
Pepeo:	<5 ppm
Toplotna provodljivost:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Isporučujemo različite susceptore i grafitne komponente za sve trenutne epitaksijalne reaktore. Naši proizvodi uključuju susceptore u obliku cijevi za LPE jedinice, susceptore u obliku palačinke za LPE, CSD i Gemini jedinice, te susceptore s jednom pločicom za primijenjene i ASM jedinice.

Kombinujući snažna partnerstva s vodećim proizvođačima originalne opreme (OEM), stručnost u materijalima i znanje o proizvodnji, Vet nudi optimalan dizajn za vašu primjenu.

VET Energija je thepravi proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijum karbida sa CVD premazom,može isporučitirazniPrilagođeni dijelovi za poluprovodničku i fotonaponsku industriju. ONaš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može pružiti profesionalnija materijalna rješenja.za tebe.

Fkarakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700℃.
2. Visoka čistoća itermička ujednačenost
3. Odlična otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizička svojstva CVD SiC-apremaz
性质 / Nekretnina	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶,主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度 (500g opterećenje)
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10μm
纯度 / Hemijska čistoća	99,99995%
热容 / Toplotni kapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4-tačkasti
杨氏模量 Youngov modul	430 Gpa savijanje od 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalProvodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termičko širenje (CTE)	4,5×10^-6K^-1