Ċirku tal-grafita miksi bil-karbur tas-silikon CVD

Deskrizzjoni Qasira:

Iċ-ċirku tal-grafita miksi bil-karbur tas-silikon VET Energy huwa prodott ta' prestazzjoni għolja ddisinjat biex jipprovdi prestazzjoni konsistenti u affidabbli fuq perjodu estiż. Għandu reżistenza għas-sħana u uniformità termali super tajba, purità għolja, reżistenza għall-erożjoni, li jagħmluh is-soluzzjoni perfetta għal applikazzjonijiet tal-ipproċessar tal-wejfers.

Ibgħatilna email Niżżel bħala PDF

Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

Proprjetajiet Tipiċi tal-Materjal tal-Grafita Bażika:

Densità Apparenti:	1.85 g/ċm3
Reżistività Elettrika:	11 μΩm
Qawwa Flessurali:	49 MPa (500kgf/ċm2)
Ebusija tax-Xatt:	58
Irmied:	<5ppm
Konduttività Termali:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Aħna nipprovdu diversi susċetturi u komponenti tal-grafita għar-reatturi epitassiċi attwali kollha. Il-prodotti tagħna jinkludu susċetturi barrel għal unitajiet LPE, susċetturi pancake għal unitajiet LPE, CSD, u Gemini, u susċetturi single-wafer għal unitajiet applikati u ASM.

Billi tgħaqqad sħubijiet b'saħħithom ma' OEMs ewlenin, għarfien espert tal-materjali u għarfien espert tal-manifattura, vet toffri d-disinn ottimali għall-applikazzjoni tiegħek.

L-Enerġija tal-VET hija l-manifattur reali ta' prodotti personalizzati tal-grafita u tal-karbur tas-silikon b'kisja CVD,jista' jipprovdidiversiPartijiet personalizzati għall-industrija tas-semikondutturi u l-fotovoltajka. OIt-tim tekniku tiegħek ġej minn istituzzjonijiet ta' riċerka domestiċi ewlenin, jista' jipprovdi soluzzjonijiet materjali aktar professjonaligħalik.

Fkaratteristiċi tal-prodotti tagħna:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja sa 1700℃.
2. Purità għolja uuniformità termali
3. Reżistenza eċċellenti għall-korrużjoni: reaġenti aċidużi, alkali, melħ u organiċi.
4. Ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
5. Ħajja ta' servizz itwal u aktar durabbli

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprjetajiet fiżiċi bażiċi tas-CVD SiCkisi
性质 / Proprjetà	典型数值 / Valur Tipiku
晶体结构 / Struttura tal-Kristall	Fażi β tal-FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3.21 g/ċm³
硬度 / Ebusija	2500 维氏硬度（tagħbija ta' 500g）
晶粒大小 / Daqs tal-Qamħ	2~10μm
纯度 / Purità Kimika	99.99995%
热容 / Kapaċità tas-Sħana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura tas-Sublimazzjoni	2700℃
抗弯强度 / Saħħa Flessurali	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 / Modulu ta' Young	430 Gpa 4pt liwja, 1300℃
导热系数 / TermalKonduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)	4.5×10^-6K^-1