Cincin Grafit Bersalut Silikon Karbida CVD

Penerangan Ringkas:

Cincin grafit bersalut silikon karbida VET Energy ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan andal dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba dan keseragaman haba yang sangat baik, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.

Hantar emel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Sifat-sifat Khas Bahan Grafit Asas:

Ketumpatan Rupa:	1.85 g/cm3
Kerintangan Elektrik:	11 μΩm
Kekuatan Fleksibel:	49 MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan Pantai:	58
Abu:	<5ppm
Kekonduksian Terma:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Kami membekalkan pelbagai susceptor dan komponen grafit untuk semua reaktor epitaksi semasa. Produk kami termasuk susceptor tong untuk unit LPE, susceptor lempeng untuk unit LPE, CSD dan Gemini, serta susceptor wafer tunggal untuk unit gunaan dan ASM.

Dengan menggabungkan perkongsian kukuh dengan OEM terkemuka, kepakaran bahan dan pengetahuan pembuatan, vet menawarkan reka bentuk optimum untuk aplikasi anda.

Tenaga VET ialah yangpengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan salutan CVD,boleh membekalkanpelbagaibahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. OPasukan teknikal anda datang dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesionaluntuk awak.

Fciri-ciri produk kami:

1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700℃.
2. Ketulenan tinggi dankeseragaman terma
3. Rintangan kakisan yang sangat baik: reagen asid, alkali, garam dan organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan
性质 / Hartanah	典型数值 / Nilai Lazim
晶体结构 / Struktur Kristal	Fasa β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Ketumpatan	3.21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Saiz Bijirin	2~10μm
纯度 / Ketulenan Kimia	99.99995%
热容 / Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Pemejalwapan	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt selekoh, 1300℃
导热系数 / TermalKekonduksian	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pengembangan Terma (CTE)	4.5×10^-6K^-1