CVD-Siliziumkarbid-beschichteter Graphitring

Kurze Beschreibung:

Der mit Siliziumkarbid beschichtete Graphitring von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine konstante und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Er zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist somit die perfekte Lösung für die Waferverarbeitung.

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Produktdetail

Produkt Tags

Typische Eigenschaften des Graphit-Basismaterials:

Scheinbare Dichte:	1,85 g/cm³
Elektrischer Widerstand:	11 μΩm
Biegefestigkeit:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore-Härte:	58
Asche:	<5 ppm
Wärmeleitfähigkeit:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Wir liefern verschiedene Suszeptoren und Graphitkomponenten für alle gängigen Epitaxiereaktoren. Unser Produktportfolio umfasst Barrel-Suszeptoren für LPE-Einheiten, Pancake-Suszeptoren für LPE-, CSD- und Gemini-Einheiten sowie Single-Wafer-Suszeptoren für angewandte und ASM-Einheiten.

Durch die Kombination starker Partnerschaften mit führenden OEMs, Materialkompetenz und Fertigungs-Know-how bietet vet das optimale Design für Ihre Anwendung.

VET Energy ist Dieechter Hersteller von kundenspezifischen Graphit- und Siliziumkarbidprodukten mit CVD-Beschichtung,liefern kannverschiedenkundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. OUnser technisches Team kommt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen anbietenfür Sie.

FEigenschaften unserer Produkte:

1. Hohe Temperatur-Oxidationsbeständigkeit bis zu 1700℃.
2. Hohe Reinheit undthermische Gleichmäßigkeit
3. Hervorragende Korrosionsbeständigkeit: Säure, Lauge, Salz und organische Reagenzien.
4. Hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.
5. Längere Lebensdauer und langlebiger

Herz-Kreislauf-Erkrankungen SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC-β-Phase多晶, 主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 U/min (500 g Ladung)
晶粒大小 / Korngröße	2 bis 10 μm
纯度 / Chemische Reinheit	99,99995 %
热容 / Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / ThermalLeitfähigkeit	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1