Anellu di grafite rivestitu di carburo di siliciu CVD

Descrizzione breve:

L'anellu di grafite rivestitu di carburo di siliciu VET Energy hè un pruduttu d'altu rendimentu cuncipitu per furnisce prestazioni consistenti è affidabili per un periodu prolongatu. Hà una resistenza à u calore è uniformità termica super bona, alta purezza, resistenza à l'erosione, chì ne face a suluzione perfetta per l'applicazioni di trasfurmazione di wafer.

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Proprietà tipiche di u materiale di grafite di basa:

Densità apparente:	1,85 g/cm³
Resistività elettrica:	11 μΩm
Resistenza à a flessione:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Durezza Shore:	58
Cendra:	<5 ppm
Cunduttività termica:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Fornemu diversi suscettori è cumpunenti di grafite per tutti i reattori di epitaxia attuali. I nostri prudutti includenu suscettori a canna per unità LPE, suscettori a frittella per unità LPE, CSD è Gemini, è suscettori à cialda unica per unità applicate è ASM.

Cumbinendu partenariati forti cù i principali OEM, cumpetenze di materiali è sapè fà di fabricazione, vet offre u cuncepimentu ottimale per a vostra applicazione.

L'energia VET hè uveru fabricatore di prudutti persunalizati di grafite è carburu di siliciu cù rivestimentu CVD,pò furniscevariiParti persunalizate per l'industria di i semiconduttori è di u fotovoltaicu. OA nostra squadra tecnica vene da i migliori istituzioni di ricerca naziunali, pò furnisce suluzioni di materiali più prufessiunaliper tè.

Fcaratteristiche di i nostri prudutti:

1. Resistenza à l'ossidazione à alta temperatura finu à 1700℃.
2. Alta purezza èuniformità termica
3. Eccellente resistenza à a currusione: acidi, alcali, sali è reagenti organici.
4. Alta durezza, superficia compacta, particelle fini.
5. Vita di serviziu più longa è più durevule

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu
性质 / Pruprietà	典型数值 / Valore Tipicu
晶体结构 / Struttura Cristallina	Fase β di a FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 维氏硬度（500g di carica）
晶粒大小 / Grana	2~10μm
纯度 / Purità chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700 ℃
抗弯强度 / Resistenza à a flessione	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 Modulu di Young	Curvatura 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / ThermalCunduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatazione Termica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1