Графитни прстен са CVD премазом од силицијум карбида

CVD графитни прстен са премазом од силицијум карбида Истакнута слика

Кратак опис:

Графитни прстен обложен силицијум карбидом компаније VET Energy је високо ефикасни производ дизајниран да пружи конзистентне и поуздане перформансе током дужег временског периода. Има изузетно добру отпорност на топлоту и термичку уједначеност, високу чистоћу и отпорност на ерозију, што га чини савршеним решењем за примене у обради плочица.

Пошаљите нам имејл Преузми као PDF

Детаљи производа

Ознаке производа

Типична својства основног графитног материјала:

Привидна густина:	1,85 г/цм3
Електрична отпорност:	11 μΩm
Флексурна чврстоћа:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Тврдоћа по Шору:	58
Пепео:	<5 ппм
Топлотна проводљивост:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Испоручујемо разне сусцепторе и графитне компоненте за све тренутне епитаксијске реакторе. Наши производи укључују бачвасте сусцепторе за LPE јединице, палачинкасте сусцепторе за LPE, CSD и Gemini јединице, и једнопластичасте сусцепторе за примењене и ASM јединице.

Комбиновањем јаких партнерстава са водећим произвођачима оригиналне опреме (OEM), стручности у области материјала и знања о производњи, VET нуди оптималан дизајн за вашу примену.

VET Energy је тај/та/то/топрави произвођач прилагођених производа од графита и силицијум карбида са CVD премазом,може да обезбедиразниПрилагођени делови за полупроводничку и фотонапонску индустрију. OНаш технички тим долази из водећих домаћих истраживачких институција и може да пружи професионалнија материјална решења.за тебе.

Fкарактеристике наших производа:

1. Отпорност на оксидацију на високим температурама до 1700℃.
2. Висока чистоћа итермичка уједначеност
3. Одлична отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
4. Висока тврдоћа, компактна површина, фине честице.
5. Дужи век трајања и издржљивији

КВБ SiC薄膜基本物理性能 Основна физичка својства CVD SiC-апремаз
性质 / Некретнина	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶, 主要为（111）取向
密度 / Густина	3,21 г/цм³
硬度 / Тврдоћа	2500 维氏硬度 (500г оптерећење)
晶粒大小 / Величина зрна	2~10μm
纯度 / Хемијска чистоћа	99,99995%
热容 / Топлотни капацитет	640 Ј·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимације	2700℃
抗弯强度 / Чврстоћа на савијање	415 MPa RT 4-тачкасти
杨氏模量 / Јангов модул еластичности	430 Gpa, 4pt, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводљивост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термичко ширење (CTE)	4,5×10^-6K^-1