Anel de grafite revestido com carboneto de silício CVD

Descrição curta:

O anel de grafite revestido com carboneto de silício VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para proporcionar desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

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Detalhes do produto

Etiquetas de produtos

Propriedades típicas do material de grafite base:

Densidade aparente:	1,85 g/cm3
Resistividade elétrica:	11 μΩm
Resistência à flexão:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureza Shore:	58
Cinzas:	<5 ppm
Condutividade térmica:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Fornecemos diversos susceptores e componentes de grafite para todos os reatores epitaxiais atuais. Nossos produtos incluem susceptores em barril para unidades LPE, susceptores em forma de panqueca para unidades LPE, CSD e Gemini, e susceptores de wafer único para unidades aplicadas e ASM.

Ao combinar parcerias sólidas com OEMs líderes, experiência em materiais e conhecimento de fabricação, a vet oferece o design ideal para sua aplicação.

A VET Energy é overdadeiro fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com revestimento CVD,pode fornecerváriospeças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica. ONossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais, pode fornecer soluções de materiais mais profissionaispara você.

FCaracterísticas dos nossos produtos:

1. Resistência à oxidação em altas temperaturas de até 1700°C.
2. Alta pureza euniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e maior durabilidade

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β da FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Tamanho do grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidade de Calor	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de Sublimação	2700℃
抗弯强度 / Resistência à flexão	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa 4pt curva, 1300℃
导热系数 / TermaeuCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1