Anel de grafite revestido com carbeto de silício CVD

Descrição resumida:

O anel de grafite revestido com carbeto de silício da VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

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Detalhes do produto

Etiquetas do produto

Propriedades típicas do material base de grafite:

Densidade aparente:	1,85 g/cm³
Resistividade elétrica:	11 μΩm
Resistência à flexão:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Dureza da costa:	58
Cinzas:	<5 ppm
Condutividade térmica:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Fornecemos diversos susceptores e componentes de grafite para todos os reatores de epitaxia atuais. Nossos produtos incluem susceptores cilíndricos para unidades LPE, susceptores planos para unidades LPE, CSD e Gemini, e susceptores de wafer único para unidades aplicadas e ASM.

Combinando parcerias sólidas com os principais fabricantes de equipamentos originais (OEMs), conhecimento especializado em materiais e know-how de fabricação, a vet oferece o design ideal para sua aplicação.

A VET Energy é oFabricante genuíno de produtos personalizados de grafite e carbeto de silício com revestimento CVD.pode fornecerváriosPeças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica. ONossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais, podendo oferecer soluções de materiais mais especializadas.para você.

FCaracterísticas dos nossos produtos:

1. Alta resistência à oxidação em temperaturas de até 1700 °C.℃.
2. Alta pureza euniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e mais durabilidade

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β do FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Tamanho do Grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 Capacidade térmica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimação	2700℃
抗弯强度 / Resistência à Flexão	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 Módulo de Young	430 GPa, curvatura de 4 pontos, 1300 °C
导热系数 / TermalCondutividade	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1