แหวนกราไฟต์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ CVD

คำอธิบายโดยย่อ:

วงแหวนกราไฟต์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของ VET Energy เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ในระยะยาว มีคุณสมบัติทนความร้อนและกระจายความร้อนได้ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในกระบวนการผลิตเวเฟอร์

 


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

คุณสมบัติทั่วไปของวัสดุกราไฟต์พื้นฐาน:

ความหนาแน่นปรากฏ: 1.85 กรัม/ซม³
ความต้านทานไฟฟ้า: 11 ไมโครโอห์ม
ความแข็งแรงดัดงอ: 49 เมกะปาสคาล (500 กก./ซม.²)
ความแข็งของชอร์: 58
เถ้า: <5ppm
ค่าการนำความร้อน: 116 วัตต์/มิลลิเคลวิน (100 กิโลแคลอรี/มิลลิชั่วโมง-องศาเซลเซียส)

เราจัดจำหน่ายตัวรองรับและส่วนประกอบกราไฟต์หลากหลายชนิดสำหรับเครื่องปฏิกรณ์เอพิแท็กซีทุกรุ่นในปัจจุบัน ผลิตภัณฑ์ของเราประกอบด้วยตัวรองรับทรงกระบอกสำหรับหน่วย LPE ตัวรองรับทรงแพนเค้กสำหรับหน่วย LPE, CSD และ Gemini และตัวรองรับแบบแผ่นเดียวสำหรับหน่วยประยุกต์และ ASM

ด้วยการผสานความร่วมมือที่แข็งแกร่งกับผู้ผลิตอุปกรณ์ชั้นนำ ความเชี่ยวชาญด้านวัสดุ และองค์ความรู้ด้านการผลิต vet จึงนำเสนอการออกแบบที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการใช้งานของคุณ

3

VET Energy คือ ที่ผู้ผลิตตัวจริงของผลิตภัณฑ์กราไฟต์และซิลิคอนคาร์ไบด์แบบสั่งทำพิเศษเคลือบด้วย CVDสามารถจัดหาได้หลากหลายชิ้นส่วนสั่งทำพิเศษสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และพลังงานแสงอาทิตย์ Oทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำของประเทศ สามารถนำเสนอโซลูชันด้านวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากยิ่งขึ้นสำหรับคุณ.

Fคุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:

1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1700 องศาเซลเซียส.
2. ความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ
3. ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และสารเคมีอินทรีย์
4. มีความแข็งสูง ผิวเรียบเนียน อนุภาคละเอียด
5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น

โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / มูลค่าทั่วไป

晶体结构 / โครงสร้างผลึก

เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 กรัม/ซม³

硬度 / ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / ขนาดเมล็ด

2~10 ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี

99.99995%

热容 / ความจุความร้อน

640 จูล·กก.-1·K-1

升华温度 อุณหภูมิการระเหิด

2700℃

抗弯强度 / ความแข็งแรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 โมดูลัสของยัง

430 GPa ดัด 4 จุด 1300℃

导热系数 / เทอร์มาการนำไฟฟ้า

300 วัตต์·เมตร-1·K-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

ยินดีต้อนรับท่านเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราอย่างอบอุ่น มาพูดคุยกันเพิ่มเติมเถอะ!

生产设备

 

公司客户

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ผ่าน WhatsApp!