Typiske egenskaber ved basisgrafitmateriale:
| Tilsyneladende densitet: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrisk modstand: | 11 μΩm |
| Bøjningsstyrke: | 49 MPa (500 kgf/cm²) |
| Shore-hårdhed: | 58 |
| Aske: | <5 ppm |
| Termisk ledningsevne: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Vi leverer forskellige susceptorer og grafitkomponenter til alle nuværende epitaksireaktorer. Vores produkter omfatter tøndesusceptorer til LPE-enheder, pandekagesusceptorer til LPE-, CSD- og Gemini-enheder samt single-wafer-susceptorer til anvendte og ASM-enheder.
Ved at kombinere stærke partnerskaber med førende OEM'er, materialeekspertise og produktionsknowhow, tilbyder Vet det optimale design til din applikation.
VET Energi er deen rigtig producent af specialfremstillede grafit- og siliciumcarbidprodukter med CVD-belægning,kan levereforskelligeTilpassede dele til halvleder- og solcelleindustrien. OVores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde mere professionelle materialeløsningerfor dig.
Ffunktioner i vores produkter:
1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700℃.
2. Høj renhed ogtermisk ensartethed
3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
5. Længere levetid og mere holdbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995% |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjningsstyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Du er hjertelig velkommen til at besøge vores fabrik, lad os tale videre!
