Mama Graphite Ufiufi CVD Silicon Carbide

Fa'amatalaga Pupuu:

O le mama graphite ua ufiufi i le silicon carbide o le VET Energy o se oloa maualuga le faatinoga ua mamanuina e maua ai le faatinoga faifai pea ma faatuatuaina i se vaitaimi umi. E matua lelei lava lona tete'e atu i le vevela ma le tutusa o le vevela, maualuga le mama, ma tete'e atu i le ele, ma avea ai ma fofo atoatoa mo galuega fa'atino o le wafer processing.

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Fa'amatalaga o le oloa

Fa'ailoga o Oloa

Uiga Masani o le Meafaitino Fa'avae o le Graphite:

Mafiafia e Vaaia:	1.85 kalama/cm3
Tete'e Fa'aeletise:	11 μΩm
Malosiaga Fa'alava:	49 MPa (500kgf/cm2)
Ma'a'a o le Matafaga:	58
Lefulefu:	<5ppm
Fa'avevela o le Tafega:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Matou te tuʻuina atu le tele o susceptors ma vaega o le graphite mo epitaxy reactors uma o loʻo iai nei. O a matou oloa e aofia ai barrel susceptors mo iunite LPE, pancake susceptors mo iunite LPE, CSD, ma Gemini, ma single-wafer susceptors mo iunite faʻaoga ma ASM.

I le tuʻufaʻatasia o paʻaga malolosi ma OEM taʻimua, tomai faʻapitoa i meafaitino ma le poto masani i le gaosiga, e ofoina atu ai e le vet le mamanu sili ona lelei mo lau faʻaoga.

O le VET Energy o legaosi oloa moni o oloa fa'apitoa o le graphite ma le silicon carbide ma le ufiufi CVD,e mafai ona tuʻuina atueseesevaega fa'apitoa mo le alamanuia semiconductor ma le photovoltaic. OO lau 'au fa'apitoa e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e sili ona lelei i totonu o le atunu'u, e mafai ona tu'uina atu ni fofo fa'apitoa mo meafaitinomo oe.

Fvaega o a matou oloa:

1. Tete'e atu i le fa'ama'i o le vevela maualuga e o'o atu i le 1700℃.
2. Mama maualuga matutusa o le vevela
3. Tete'e lelei i le 'ele: 'āsi, alkali, masima ma vaila'au fa'aola.
4. Ma'a'a maualuga, laualuga mafiafia, fasi manifinifi.
5. Umi atu le ola tautua ma sili atu ona tumau

CVD SiC薄膜基本物理性能 Uiga faaletino faavae o le CVD SiCufiufi
性质 / Meatotino	典型数值 / Taua Masani
晶体结构 / Fausaga o le Kilisitala	Vaega β o le FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Mafiafia	3.21 kalama/cm³
硬度 / Faigata	2500 维氏硬度（500g uta）
晶粒大小 / Tele o le saito	2~10μm
纯度 / Mamā Fa'akemikolo	99.99995%
热容 / Malosiaga o le Vevela	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Vevela o le Sublimation	2700℃
抗弯强度 / Malosiaga Fa'alava	415 MPa RT 4-point
杨氏模量 / Modulus a Young	430 Gpa 4pt pi'o, 1300℃
导热系数 / ThermalAmioga	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Fa'alauteleina o le Vevela (CTE)	4.5×10^-6K^-1