Графітове кільце з покриттям з карбіду кремнію, отриманим методом CVD

Графітове кільце з покриттям з карбіду кремнію методом CVD, зображене на зображенні

Короткий опис:

Графітове кільце VET Energy з карбідом кремнію та покриттям – це високопродуктивний продукт, розроблений для забезпечення стабільної та надійної роботи протягом тривалого періоду. Воно має надзвичайно добру термостійкість та однорідність нагрівання, високу чистоту та стійкість до ерозії, що робить його ідеальним рішенням для обробки пластин.

Надіслати нам електронного листа Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги продукту

Типові властивості базового графітового матеріалу:

Видима щільність:	1,85 г/см3
Питомий електричний опір:	11 мкОм
Міцність на згин:	49 МПа (500 кгс/см2)
Твердість за Шором:	58
Попіл:	<5 ppm
Теплопровідність:	116 Вт/мК (100 ккал/мгод℃)

Ми постачаємо різні сусцептори та графітові компоненти для всіх сучасних епітаксійних реакторів. Наша продукція включає сусцептори у формі циліндра для установок рідкофазного епітаксіального реактора (LPE), сусцептори у формі млинця для установок LPE, CSD та Gemini, а також сусцептори на одній пластині для прикладних установок та установок ASM.

Поєднуючи міцні партнерські відносини з провідними виробниками оригінального обладнання (OEM), досвід у сфері матеріалів та виробничі ноу-хау, vet пропонує оптимальний дизайн для вашого застосування.

Енергетика VET – це той/та/тесправжній виробник виробів з графіту та карбіду кремнію на замовлення з CVD-покриттям,може постачатирізнідеталі на замовлення для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості. OНаша технічна команда походить з провідних вітчизняних дослідницьких установ і може запропонувати більш професійні рішення щодо матеріалівдля тебе.

Fхарактеристики нашої продукції:

1. Стійкість до окислення за високих температур до 1700℃.
2. Висока чистота татеплова однорідність
3. Відмінна корозійна стійкість: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
4. Висока твердість, щільна поверхня, дрібні частинки.
5. Довший термін служби та більша довговічність

серцево-судинних захворювань SiC薄膜基本物理性能 Основні фізичні властивості CVD SiCпокриття
性质 / Нерухомість	典型数值 / Типове значення
晶体结构 / Кристалічна структура	β-фаза ГЦК多晶，主要为（111）取向
密度 / Щільність	3,21 г/см³
硬度 / Твердість	2500 维氏硬度 (завантаження 500 г)
晶粒大小 / Розмір зерна	2~10 мкм
纯度 / Хімічна чистота	99,99995%
热容 / Теплоємність	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублімації	2700℃
抗弯强度 / Міцність на згин	415 МПа RT 4-точковий
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 ГПа, вигин 4 пт, 1300℃
导热系数 / ТермалПровідність	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Теплове розширення (КТР)	4,5×10^-6K^-1