CVD grafitový krúžok potiahnutý karbidom kremíka

Obrázok grafitového krúžku s CVD povlakom z karbidu kremíka

Stručný popis:

Grafitový krúžok s povlakom z karbidu kremíka od spoločnosti VET Energy je vysoko výkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval konzistentný a spoľahlivý výkon počas dlhého obdobia. Má vynikajúcu tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, vysokú čistotu a odolnosť voči erózii, vďaka čomu je ideálnym riešením pre aplikácie spracovania doštičiek.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detaily produktu

Značky produktov

Typické vlastnosti základného grafitového materiálu:

Zdanlivá hustota:	1,85 g/cm3
Elektrický odpor:	11 μΩm
Pevnosť v ohybe:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdosť podľa Shorea:	58
Popol:	<5 ppm
Tepelná vodivosť:	116 W/mK (100 kcal/mh℃)

Dodávame rôzne susceptory a grafitové komponenty pre všetky súčasné epitaxné reaktory. Naše produkty zahŕňajú valcové susceptory pre jednotky LPE, pancake susceptory pre jednotky LPE, CSD a Gemini a jednoplátkové susceptory pre aplikované jednotky a ASM jednotky.

Vďaka kombinácii silných partnerstiev s poprednými výrobcami originálnych dielov (OEM), odborných znalostí v oblasti materiálov a výrobného know-how ponúka spoločnosť vet optimálny dizajn pre vašu aplikáciu.

Energia odborného vzdelávania a prípravy je tenskutočný výrobca zákazkových grafitových a karbidových výrobkov s CVD povlakom,môže dodaťrôznediely na mieru pre polovodičový a fotovoltaický priemysel. ONáš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a môže poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.pre teba.

Fvlastnosti našich produktov:

1. Odolnosť voči oxidácii pri vysokých teplotách až do 1700℃.
2. Vysoká čistota atepelná rovnomernosť
3. Vynikajúca odolnosť proti korózii: kyseliny, zásady, soli a organické činidlá.
4. Vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
5. Dlhšia životnosť a odolnejšie

Kardiovaskulárne ochorenie (KVO) SiC薄膜基本物理性能 Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter
性质 / Nehnuteľnosť	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Kryštálová štruktúra	FCC β fáza多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdosť	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Veľkosť zrna	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimácie	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnosť v ohybe	415 MPa RT 4-bodový
杨氏模量 Youngov modul pružnosti	430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalVodivosť	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná rozťažnosť (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1