Peratra grafita voarakotra silikônina CVD

Sary nasongadina momba ny Peratra Grafita Voarakotra Silikônina Carbide CVD

Famaritana fohy:

Ny peratra grafita voarakotra silikônina karbida dia vokatra avo lenta natao hanomezana fahombiazana tsy tapaka sy azo ianteherana mandritra ny fotoana maharitra. Manana fanoherana hafanana sy fitoviana mafana tena tsara izy io, fahadiovana avo lenta, fanoherana ny fahasimbana, ka mahatonga azy io ho vahaolana tonga lafatra amin'ny fampiharana fanodinana wafer.

Alefaso mailaka aminay Sintomy amin'ny endrika PDF

Antsipirian'ny vokatra

Marika vokatra

Toetra mampiavaka ny fitaovana fototra grafita:

Hakitroky Miharihary:	1.85 g/sm3
Fanoherana herinaratra:	11 μΩm
Herin'ny fihetsehana:	49 MPa (500kgf/sm2)
Hamafin'ny morontsiraka:	58
Lavenona:	<5ppm
Fitondran-tena mafana:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Manome susceptors sy singa grafita isan-karazany ho an'ny reactor epitaxy rehetra amin'izao fotoana izao izahay. Anisan'ny vokatray ny susceptors barrel ho an'ny singa LPE, susceptors pancake ho an'ny singa LPE, CSD, ary Gemini, ary susceptors wafer tokana ho an'ny singa ampiharina sy ASM.

Amin'ny alalan'ny fiaraha-miasa matanjaka amin'ireo OEM malaza, ny fahaizana manokana momba ny fitaovana ary ny fahaiza-manao amin'ny famokarana, ny vet dia manolotra ny endrika tsara indrindra ho an'ny fampiharanao.

Ny VET Energy dia nympanamboatra tena izy vokatra grafita sy karbida silikônina namboarina manokana miaraka amin'ny coating CVD,afaka manomeisan-karazanypiesy namboarina manokana ho an'ny indostrian'ny semiconductor sy photovoltaic. OAvy amin'ny andrim-pikarohana ambony indrindra ao an-toerana ny ekipa teknika anay, afaka manome vahaolana ara-nofo matihanina kokoaho anao.

Fendri-javatra amin'ny vokatra atolotray:

1. Fanoherana ny oksidasiona amin'ny mari-pana avo hatramin'ny 1700℃.
2. Fahadiovana avo lenta syfitoviana ara-hafanana
3. Fanoherana harafesina tsara dia tsara: asidra, alkali, sira ary akora organika.
4. Hamafin'ny tany, velarana matevina, poti-javatra madinika.
5. Faharetana maharitra kokoa ary maharitra kokoa

CVD SiC薄膜基本物理性能 Toetra ara-batana fototra an'ny CVD SiCfanosotra
性质 / Fananana	典型数值 / Sanda mahazatra
晶体结构 / Rafitra Kristaly	Dingana FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Hakitroky	3.21 g/sm³
硬度 / Fahamafisana	2500 维氏硬度（500g entana）
晶粒大小 / Haben'ny voamaina	2~10μm
纯度 / Fahadiovana simika	99.99995%
热容 / Fahafahana mafana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Hafanana Sublimation	2700℃
抗弯强度 / Tanjaka miolikolika	415 MPa RT 4-teboka
杨氏模量 / Modulus an'i Young	430 Gpa 4pt miolikolika, 1300℃
导热系数 / ThermalFitondran-tena	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Fanitarana ny hafanana (CTE)	4.5×10^-6K^-1