CVD silicijev karbidno prevlečen grafitni obroč

Slika grafitnega obroča s prevleko iz silicijevega karbida CVD

Kratek opis:

Grafitni obroč VET Energy s prevleko iz silicijevega karbida je visokozmogljiv izdelek, zasnovan za zagotavljanje doslednega in zanesljivega delovanja v daljšem časovnem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost in odpornost proti eroziji, zaradi česar je idealna rešitev za obdelavo rezin.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Tipične lastnosti osnovnega grafitnega materiala:

Navidezna gostota:	1,85 g/cm3
Električna upornost:	11 μΩm
Upogibna trdnost:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Trdota po Shoreu:	58
Pepel:	<5 ppm
Toplotna prevodnost:	116 W/mK (100 kcal/mhr℃)

Dobavljamo različne susceptorje in grafitne komponente za vse trenutne epitaksijske reaktorje. Naši izdelki vključujejo cilindrične susceptorje za enote LPE, susceptorje v obliki palačinke za enote LPE, CSD in Gemini ter susceptorje z eno rezino za uporabne enote in enote ASM.

Z združevanjem močnih partnerstev z vodilnimi proizvajalci originalne opreme (OEM), strokovnega znanja o materialih in proizvodnega znanja vam vet ponuja optimalno zasnovo za vašo aplikacijo.

Energija poklicnega izobraževanja in usposabljanja je tapravi proizvajalec izdelkov iz grafita in silicijevega karbida po meri s CVD prevleko,lahko dobavirazličnePrilagojeni deli za polprevodniško in fotovoltaično industrijo. ONaša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov in lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.zate.

FZnačilnosti naših izdelkov:

1. Odpornost na oksidacijo pri visokih temperaturah do 1700℃.
2. Visoka čistost intoplotna enakomernost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, soli in organski reagenti.
4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremaz
性质 / Nepremičnina	典型数值 / Tipična vrednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111) 取向
密度 / Gostota	3,21 g/cm³
硬度 / Trdota	2500 维氏硬度（500g obremenitev）
晶粒大小 / VELIKOST ZRNA	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistost	99,99995 %
热容 / Toplotna kapaciteta	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovni
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa, 4pt upogib, 1300℃
导热系数 / TermalPrevodnost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplotni raztezek (CTE)	4,5×10^-6K^-1