CVD цахиурын карбид бүрсэн графит цагираг

Товч тайлбар:

VET Energy цахиурын карбид бүрсэн бал чулуун цагираг нь удаан хугацааны турш тогтвортой, найдвартай ажиллагааг хангах зорилготой өндөр хүчин чадалтай бүтээгдэхүүн юм. Энэ нь маш сайн халуунд тэсвэртэй, дулааны жигд байдал, өндөр цэвэршилт, элэгдэлд тэсвэртэй тул вафли боловсруулах хэрэглээнд төгс шийдэл болдог.

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

Суурь графит материалын ердийн шинж чанарууд:

Харагдах нягтрал:	1.85 г/см3
Цахилгаан эсэргүүцэл:	11 μΩм
Гулзайлтын хүч:	49 МПа (500кгф/см2)
Эргийн хатуулаг:	58
Үнс:	<5ppm
Дулаан дамжуулалт:	116 Вт/мК (100 ккал/мц-℃)

Бид одоогийн бүх эпитакси реакторуудад зориулсан төрөл бүрийн сусцептор болон бал чулуун эд ангиудыг нийлүүлдэг. Манай бүтээгдэхүүнүүдэд LPE төхөөрөмжүүдэд зориулсан торх хэлбэрийн сусцепторууд, LPE, CSD, Gemini төхөөрөмжүүдэд зориулсан бин хэлбэрийн сусцепторууд, мөн хэрэглээний болон ASM төхөөрөмжүүдэд зориулсан дан вафер хэлбэрийн сусцепторууд багтдаг.

Тэргүүлэх OEM үйлдвэрлэгчидтэй хүчтэй түншлэл, материалын туршлага, үйлдвэрлэлийн мэдлэгийг хослуулснаар вет нь таны хэрэглээнд хамгийн оновчтой дизайныг санал болгодог.

Мэргэжлийн боловсролын эрчим хүч нь ньCVD бүрээстэй захиалгат бал чулуу болон цахиурын карбидын бүтээгдэхүүний жинхэнэ үйлдвэрлэгч,нийлүүлж чаднаянз бүрийнхагас дамжуулагч болон фотоэлектрик үйлдвэрлэлийн зориулалттай захиалгат эд ангиуд. OТанай техникийн баг дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас гаралтай бөгөөд илүү мэргэжлийн материалын шийдлийг санал болгож чадначамд зориулж.

FМанай бүтээгдэхүүний онцлог шинж чанарууд:

1. 1700 хүртэл өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл℃.
2. Өндөр цэвэршилт бадулааны жигд байдал
3. Маш сайн зэврэлтэнд тэсвэртэй: хүчил, шүлт, давс болон органик урвалжууд.
4. Өндөр хатуулаг, авсаархан гадаргуу, нарийн ширхэгтэй.
5. Үйлчилгээний хугацаа урт, илүү бат бөх

Зүрх судасны өвчин SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх
性质 / Үл хөдлөх хөрөнгө	典型数值 / Ердийн утга
晶体结构 / Кристал бүтэц	FCC β үе шат多晶，主要为（111）取向
密度 / Нягтрал	3.21 г/см³
硬度 / Хатуулаг	2500 维氏硬度（500г ачаалал）
晶粒大小 / Үр тарианы хэмжээ	2~10μm
纯度 / Химийн цэвэр байдал	99.99995%
热容 / Дулааны багтаамж	640 Ж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Сублимацийн температур	2700℃
抗弯强度 / Гулзайлтын хүч	415 МПа RT 4 цэг
杨氏模量 / Янгийн модуль	430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃
导热系数 / ТермалЦахилгаан дамжуулах чанар	300Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Дулааны тэлэлт (CTE)	4.5×10^-6K^-1