Pierścień grafitowy powlekany węglikiem krzemu CVD

Krótki opis:

Pierścień grafitowy VET Energy pokryty węglikiem krzemu to produkt o wysokiej wydajności, zaprojektowany z myślą o zapewnieniu stałej i niezawodnej pracy przez długi czas. Charakteryzuje się bardzo dobrą odpornością na ciepło i jednorodnością termiczną, wysoką czystością i odpornością na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w obróbce płytek półprzewodnikowych.

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Typowe właściwości podstawowego materiału grafitowego:

Gęstość pozorna:	1,85 g/cm3
Opór elektryczny:	11 μΩm
Wytrzymałość na zginanie:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Twardość Shore’a:	58
Popiół:	<5 ppm
Przewodność cieplna:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Dostarczamy różnorodne susceptory i komponenty grafitowe do wszystkich obecnych reaktorów epitaksjalnych. Nasza oferta obejmuje susceptory beczkowe do jednostek LPE, susceptory naleśnikowe do jednostek LPE, CSD i Gemini oraz susceptory jednopłytkowe do jednostek stosowanych i ASM.

Łącząc silne partnerstwa z wiodącymi producentami OEM, wiedzę specjalistyczną w zakresie materiałów i wiedzę produkcyjną, vet oferuje optymalny projekt dla Twojego zastosowania.

VET Energy to tenprawdziwy producent niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z powłoką CVD,może dostarczyćróżnyczęści dostosowane do potrzeb przemysłu półprzewodnikowego i fotowoltaicznego. ONasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytucji badawczych i może zapewnić bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowedla ciebie.

FCechy naszych produktów:

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700℃.
2. Wysoka czystość ijednorodność termiczna
3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sole i odczynniki organiczne.
4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząsteczki.
5. Dłuższa żywotność i większa trwałość

CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne SiC CVDpowłoka
性质 / Nieruchomość	典型数值 / Wartość typowa
晶体结构 / Struktura kryształu	Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向
密度 / Gęstość	3,21 g/cm³
硬度 / Twardość	2500 维氏硬度 (ładunek 500g)
晶粒大小 / Rozmiar ziarna	2~10μm
纯度 / Czystość chemiczna	99,99995%
热容 / Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacji	2700℃
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
杨氏模量 / Moduł Younga	430 Gpa 4-punktowe zgięcie, 1300℃
导热系数 / ThermajaPrzewodność	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1