CVD silisiumkarbidbelagt grafitrådring

Kort beskrivelse:

VET Energy silisiumkarbidbelagt grafittring er et høytytende produkt som er utviklet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over lengre tid. Den har super god varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet og erosjonsmotstand, noe som gjør den til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.


Produktdetaljer

Produktetiketter

Typiske egenskaper for basegrafittmateriale:

Tilsynelatende tetthet: 1,85 g/cm3
Elektrisk resistivitet: 11 μΩm
Bøyestyrke: 49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore-hardhet: 58
Aske: <5 ppm
Termisk konduktivitet: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Vi leverer diverse susceptorer og grafittkomponenter til alle nåværende epitaksireaktorer. Produktene våre inkluderer fatsusceptorer for LPE-enheter, pannekakesusceptorer for LPE-, CSD- og Gemini-enheter, og enkeltwafersusceptorer for anvendte og ASM-enheter.

Ved å kombinere sterke partnerskap med ledende OEM-er, materialekspertise og produksjonskunnskap, tilbyr vet det optimale designet for din applikasjon.

3

VET Energi er deekte produsent av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med CVD-belegg,kan leverediverseTilpassede deler for halvleder- og solcelleindustrien. OVårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby mer profesjonelle materialløsningerfor deg.

Fegenskaper ved våre produkter:

1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand opptil 1700.
2. Høy renhet ogtermisk ensartethet
3. Utmerket korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
5. Lengre levetid og mer holdbar

Hjerte- og kardiovaskulær sykdom SiC薄膜基本物理性能

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg

性质 / Eiendom

典型数值 / Typisk verdi

晶体结构 / Krystallstruktur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Tetthet

3,21 g/cm³

硬度 / Hardhet

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / Kornstørrelse

2~10 μm

纯度 / Kjemisk renhet

99,99995 %

热容 / Varmekapasitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Bøyestyrke

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Youngs modul

430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃

导热系数 / TermalKonduktivitet

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss snakke videre!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp online chat!