ベースグラファイト材料の代表的な特性：
| 見かけ密度: | 1.85 g/cm3 |
| 電気抵抗率: | 11μΩm |
| 曲げ強度: | 49 MPa（500kgf/cm2） |
| ショア硬度: | 58 |
| 灰： | 5ppm未満 |
| 熱伝導率: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
当社は、現在使用されているあらゆるエピタキシャルリアクター向けに、様々なサセプターおよびグラファイト部品を供給しています。製品には、LPE装置用のバレル型サセプター、LPE、CSD、Gemini装置用のパンケーキ型サセプター、そして応用装置およびASM装置用の枚葉式サセプターが含まれます。
大手 OEM との強力なパートナーシップ、材料の専門知識、製造のノウハウを組み合わせることで、vet はお客様のアプリケーションに最適な設計を提供します。
VETエネルギーは そのCVDコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の真のメーカー、供給できる様々な半導体および太陽光発電産業向けのカスタマイズ部品。 O当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身で、より専門的な材料ソリューションを提供できます。あなたのために。
F当社の製品の特徴:
1. 1700℃までの高温酸化耐性℃.
2. 高純度で熱均一性
3. 優れた耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 硬度が高く、表面が緻密で、粒子が細かい。
5. 長寿命と耐久性の向上
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 / 標準値 |
| 結晶構造 / 結晶構造 | FCCβ相多結晶、主である（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒度 | 2～10μm |
| 度 / 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容 / 熱容量 | 640 J·kg-1·K-1 |
| 昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 / 曲げ強度 | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 / ヤング率 | 430 Gpa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / サーマl導電率 | 300W·m-1·K-1 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張率(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
弊社の工場へのご訪問を心より歓迎いたします。ぜひ、さらなる話し合いをさせてください。
