ベースグラファイト材料の典型的な特性：
| 見かけ密度： | 1.85 g/cm3 |
| 電気抵抗率： | 11 μΩm |
| 曲げ強度： | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| ショア硬度： | 58 |
| 灰： | 5ppm未満 |
| 熱伝導率： | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
当社は、現在稼働中のあらゆるエピタキシャル成長炉向けに、各種サセプターおよびグラファイト部品を提供しています。製品には、LPE装置用バレル型サセプター、LPE、CSD、Gemini装置用パンケーキ型サセプター、および応用型・ASM装置用シングルウェハー型サセプターが含まれます。
vetは、大手OEMとの強力なパートナーシップ、材料に関する専門知識、製造ノウハウを組み合わせることで、お客様の用途に最適な設計を提供します。
VET Energyは のCVDコーティングを施したカスタムグラファイトおよび炭化ケイ素製品の実際の製造業者。供給できます様々な半導体および太陽光発電産業向けの特注部品。 O当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。あなたのために。
F当社製品の特徴：
1. 1700℃までの高温酸化耐性C.
2. 高純度で熱均一性
3. 優れた耐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 高硬度、緻密な表面、微細粒子。
5. より長い耐用年数とより耐久性
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 標準値 |
| 結晶構造 結晶構造 | FCC β相多結晶、主に（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒の大きさ | 2～10μm |
| 度 化学的純度 | 99.99995% |
| 熱容 熱容量 | 640 J・kg-1・K-1 |
| 昇华温度 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 曲げ強度 | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 ヤング率 | 430 GPa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / テルマl導電率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張胀系数 熱膨張係数（CTE） | 4.5×10-6K-1 |
ぜひ当社の工場にお越しください。さらに詳しく話し合いましょう！
