CVD szilícium-karbid bevonatú grafitgyűrű

Rövid leírás:

A VET Energy szilícium-karbid bevonatú grafitgyűrűje egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy hosszú távon is konzisztens és megbízható teljesítményt nyújtson. Szuper jó hőállósággal és hőegyenletességgel, nagy tisztasággal és erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldást kínál wafer feldolgozási alkalmazásokhoz.

Küldjön nekünk e-mailt Letöltés PDF-ként

Termék részletei

Termékcímkék

Az alapgrafit anyag tipikus tulajdonságai:

Látszólagos sűrűség:	1,85 g/cm3
Elektromos ellenállás:	11 μΩm
Hajlítószilárdság:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore keménység:	58
Hamu:	<5 ppm
Hővezető képesség:	116 W/mK (100 kcal/móra-℃)

Különféle szuszceptorokat és grafit alkatrészeket szállítunk minden jelenlegi epitaxiális reaktorhoz. Termékeink között megtalálhatók hordószuszceptorok LPE egységekhez, palacsinta szuszceptorok LPE, CSD és Gemini egységekhez, valamint egylapos szuszceptorok alkalmazott és ASM egységekhez.

A vezető OEM-ekkel kötött szoros partnerségek, az anyagszakértelem és a gyártási know-how ötvözésével a vet az Ön alkalmazásához optimális tervet kínálja.

A VET energia aCVD bevonattal ellátott, egyedi grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója,tud ellátnikülönfélefélvezető és fotovoltaikus ipar számára készült egyedi alkatrészek. OMűszaki csapatunk a vezető hazai kutatóintézetekből érkezik, így professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani.érted.

Ftermékeink jellemzői:

1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás akár 1700-ig℃.
2. Nagy tisztaságú éshőegyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb

szív- és érrendszeri betegségek SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat
性质 / Ingatlan	典型数值 / Tipikus érték
晶体结构 / Kristályszerkezet	FCC β fázis多晶，主要为（111）取向
密度 / Sűrűség	3,21 g/cm³
硬度 / Keménység	2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)
晶粒大小 / Szemcseméret	2~10 μm
纯度 / Kémiai tisztaság	99,99995%
热容 / Hőkapacitás	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
抗弯强度 / Hajlítószilárdság	415 MPa RT 4-pontos
杨氏模量 / Young modulusa	430 Gpa 4pt hajlítás, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVezetőképesség	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1