CVD прстен со графитна обвивка од силициум карбид

Краток опис:

Графитниот прстен обложен со силициум карбид VET Energy е високо-перформансен производ дизајниран да обезбеди конзистентни и сигурни перформанси во подолг временски период. Има супер добра отпорност на топлина и термичка униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на плочки.

Испратете ни е-пошта Преземи како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Типични својства на основниот графитен материјал:

Привидна густина:	1,85 g/cm3
Електричен отпор:	11 μΩm
Свиткување на јачина:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Тврдост на брегот:	58
Пепел:	<5 ppm
Топлинска спроводливост:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Испорачуваме разни сусцептори и графитни компоненти за сите тековни епитакси реактори. Нашите производи вклучуваат цилиндрични сусцептори за LPE единици, палачинки-сусцептори за LPE, CSD и Gemini единици и едноплочести сусцептори за применети и ASM единици.

Со комбинирање на силни партнерства со водечки производители на оригинална опрема (OEM), експертиза за материјали и знаење за производство, vet нуди оптимален дизајн за вашата апликација.

VET Energy е енергетиката на VET е. навистински производител на производи од графит и силициум карбид по нарачка со CVD облога,може да снабдуваразниприлагодени делови за полупроводничка и фотоволтаична индустрија. OВашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да обезбеди попрофесионални материјални решенијаза тебе.

Fкарактеристики на нашите производи:

1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота итермичка униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока тврдост, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни

КВБ SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Тврдост	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на зрно	2~10μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700℃
抗弯强度 / Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Јангов модул	430 Gpa 4pt свиткување, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1