China Manufacturer SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

Mubo nga Deskripsyon:

Kaputli <5ppm
‣ Maayong doping uniformity
‣ Taas nga densidad ug adhesion
‣ Maayong anti-corrosive ug carbon pagsukol

‣ Propesyonal nga pagpahiangay
‣ Mubo nga lead time
‣ Lig-on nga suplay
‣ Pagkontrol sa kalidad ug padayon nga pag-uswag

Epitaxy sa GaN sa Sapphire(RGB/Mini/Micro LED);
Epitaxy sa GaN sa Si Substrate(UVC);
Epitaxy sa GaN sa Si Substrate(Electronical Device);
Epitaxy sa Si sa Si Substrate(Integrated nga sirkito);
Epitaxy sa SiC sa SiC Substrate(substrate);
Epitaxy sa InP sa InP

Ipadala ang email kanamo I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Taas nga kalidad nga MOCVD Susceptor pagpalit online sa China

Ang usa ka wafer kinahanglan nga moagi sa daghang mga lakang sa dili pa kini magamit sa mga elektronik nga aparato. Usa ka importante nga proseso mao ang silicon epitaxy, diin ang mga wafer gidala sa graphite susceptors. Ang mga kabtangan ug kalidad sa mga susceptor adunay hinungdanon nga epekto sa kalidad sa epitaxial layer sa wafer.

Para sa manipis nga film deposition phases sama sa epitaxy o MOCVD, ang VET naghatag ug ultra-pure graphiteequipment nga gigamit sa pagsuporta sa mga substrate o "wafers". Sa kinauyokan sa proseso, kini nga kagamitan, epitaxy susceptors o satellite platform para sa MOCVD, una nga gipailalom sa deposition environment:

● Taas nga temperatura.
● Taas nga vacuum.
● Paggamit sa mga agresibo nga gas precursor.
● Zero kontaminasyon, walay pagpanit.
● Pagbatok sa lig-on nga mga asido sa panahon sa pagpanglimpyo

Ang VET Energy mao ang tinuod nga tiggama sa customized nga graphite ug silicon carbide nga mga produkto nga adunay coating alang sa semiconductor ug photovoltaic nga industriya. Ang among teknikal nga grupo naggikan sa mga nanguna nga mga institusyon sa panukiduki sa lokal, makahatag labi ka propesyonal nga mga solusyon sa materyal alang kanimo.

Kami padayon nga nagpalambo sa mga advanced nga proseso aron mahatagan ang labi ka abante nga mga materyales, ug nagtrabaho sa usa ka eksklusibo nga patente nga teknolohiya, nga makahimo sa pagbugkos tali sa coating ug substrate nga labi ka hugot ug dili kaayo dali nga mahurot.

Mga bahin sa among mga produkto:

1. Taas nga temperatura nga pagsukol sa oksihenasyon hangtod sa 1700 ℃.
2. Taas nga kaputli ug thermal uniformity
3. Maayo kaayo nga pagsukol sa kaagnasan: acid, alkali, asin ug mga organikong reagents.
4. Taas nga katig-a, compact nga nawong, maayong mga partikulo.
5. Mas taas nga serbisyo sa kinabuhi ug mas lig-on

CVD SiC Panguna nga pisikal nga mga kabtangan sa CVD SiCsapaw
Property	Kinaandan nga Bili
Kristal nga Istruktura	FCC β phase polycrystalline, nag-una (111) orientation
Densidad	3.21 g/cm³
Katig-a	2500 Vickers katig-a（500g load）
Grain Laki	2~10μm
Pagkaputli sa Kemikal	99.99995%
Kapasidad sa Kainit	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura sa Sublimation	2700 ℃
Flexural nga Kusog	415 MPa RT 4-puntos
Modulus sa Batan-on	430 Gpa 4pt bend, 1300 ℃
Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
Thermal Expansion(CTE)	4.5×10^-6K^-1