சீன உற்பத்தியாளர் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் MOCVD எபிடாக்ஸி சசெப்டர்

சுருக்கமான விளக்கம்:

தூய்மை < 5ppm
‣ நல்ல ஊக்கமருந்து சீரான தன்மை
‣ அதிக அடர்த்தி மற்றும் ஒட்டுதல்
‣ சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் கார்பன் எதிர்ப்புத் திறன்

‣ தொழில்முறை தனிப்பயனாக்கம்
‣ குறைந்த கால அவகாசம்
‣ நிலையான வழங்கல்
‣ தரக் கட்டுப்பாடு மற்றும் தொடர்ச்சியான மேம்பாடு

நீலக்கல்லின் மீது GaN-இன் எபிடாக்ஸி(RGB/மினி/மைக்ரோ LED);
Si அடி மூலக்கூறின் மீது GaN-இன் எபிடாக்ஸி(UVC);
Si அடி மூலக்கூறின் மீது GaN-இன் எபிடாக்ஸி(மின்னணு சாதனம்);
Si அடித்தளத்தின் மீது Si-இன் எபிடாக்ஸி(ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று);
SiC அடி மூலக்கூறின் மீது SiC-இன் எபிடாக்ஸி(அடிமூலம்);
InP மீதான InP-இன் எபிடாக்ஸி

 


தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

சீனாவில் உயர்தர MOCVD சசெப்டரை ஆன்லைனில் வாங்குதல்

உயர்தர MOCVD சசெப்டர்

ஒரு வேஃபர் மின்னணு சாதனங்களில் பயன்பாட்டிற்குத் தயாராவதற்கு முன்பு பல படிநிலைகளைக் கடக்க வேண்டும். சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாகும், இதில் வேஃபர்கள் கிராஃபைட் சசெப்டர்களில் தாங்கப்படுகின்றன. சசெப்டர்களின் பண்புகளும் தரமும், வேஃபரின் எபிடாக்ஸியல் அடுக்கின் தரத்தில் ஒரு முக்கிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன.

எபிடாக்ஸி அல்லது MOCVD போன்ற மென்படலப் படிவு நிலைகளுக்காக, அடி மூலக்கூறுகள் அல்லது "வேஃபர்களை" தாங்குவதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் அதிதூய கிராஃபைட் உபகரணங்களை VET வழங்குகிறது. இந்தச் செயல்முறையின் மையத்தில், எபிடாக்ஸி தாங்கிகள் அல்லது MOCVD-க்கான துணைத் தளங்கள் போன்ற இந்த உபகரணங்கள், முதலில் படிவுச் சூழலுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன:

● அதிக வெப்பநிலை.
● உயர் வெற்றிடம்.
● தீவிர வாயு முன்னோடிகளின் பயன்பாடு.
● மாசுபடுதல் இல்லை, தோல் உரிதல் அற்றது.
● சுத்தம் செய்யும் செயல்பாடுகளின் போது வீரியம் மிக்க அமிலங்களை எதிர்க்கும் திறன்

 

VET எனர்ஜி என்பது குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்துறைக்காக, பூச்சுடன் கூடிய தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு தயாரிப்புகளின் உண்மையான உற்பத்தியாளர் ஆகும். எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு, உள்நாட்டின் தலைசிறந்த ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களிலிருந்து வந்தவர்கள்; அவர்கள் உங்களுக்கு மிகவும் தொழில்முறை சார்ந்த மூலப்பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.

மேலும் மேம்பட்ட பொருட்களை வழங்குவதற்காக, நாங்கள் தொடர்ந்து மேம்பட்ட செயல்முறைகளை உருவாக்கி வருகிறோம். அத்துடன், பூச்சுக்கும் அடித்தளத்திற்கும் இடையிலான பிணைப்பை மிகவும் இறுக்கமாக்கி, அது எளிதில் கழன்றுவிடாமல் செய்யக்கூடிய ஒரு பிரத்தியேகமான காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தையும் நாங்கள் உருவாக்கியுள்ளோம்.

 

எங்கள் தயாரிப்புகளின் சிறப்பம்சங்கள்:

1. 1700℃ வரையிலான உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புத்திறன்.
2. உயர் தூய்மை மற்றும் வெப்பச் சீரான தன்மை
3. சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம வேதிப்பொருட்களுக்கு எதிராக.

4. அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு, நுண்ணிய துகள்கள்.
5. நீண்ட ஆயுட்காலம் மற்றும் அதிக நீடித்துழைக்கும் தன்மை

சிவிடி SiC

CVD SiC இன் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்பூச்சு

சொத்து

வழக்கமான மதிப்பு

படிக அமைப்பு

FCC β கட்ட பலபடிகத்தன்மை, முக்கியமாக (111) திசையமைப்பு

அடர்த்தி

3.21 கி/செமீ³

கடினத்தன்மை

2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் எடை)

தானிய அளவு

2~10μm

இரசாயன தூய்மை

99.99995%

வெப்பத் திறன்

640 J·kg-1·கே-1

பதங்கமாதல் வெப்பநிலை

2700℃

வளைவு வலிமை

415 MPa RT 4-புள்ளி

யங் குணகம்

430 ஜிபிஏ 4 புள்ளி வளைவு, 1300℃

வெப்பக் கடத்துத்திறன்

300W·m-1·கே-1

வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)

4.5×10-6K-1

CVD SIC படலத்தின் SEM தரவு

CVD SIC படலத்தின் முழுமையான கூறு பகுப்பாய்வு

எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை அன்புடன் வரவேற்கிறோம், மேலும் கலந்துரையாடுவோம்!

VET எனர்ஜியின் CVD SiC பூச்சு செயலாக்க உபகரணங்கள்

VET எனர்ஜியின் வணிக ஒத்துழைப்பு


  • முந்தையது:
  • அடுத்து:

  • தொடர்புடைய தயாரிப்புகள்

    வாட்ஸ்அப் ஆன்லைன் அரட்டை!