சீன உற்பத்தியாளர் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் MOCVD எபிடாக்ஸி சசெப்டர்

குறுகிய விளக்கம்:

தூய்மை < 5ppm
‣ நல்ல ஊக்கமருந்து சீரான தன்மை
‣ அதிக அடர்த்தி மற்றும் ஒட்டுதல்
‣ நல்ல அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் கார்பன் எதிர்ப்பு

‣ தொழில்முறை தனிப்பயனாக்கம்
‣ குறுகிய கால அவகாசம்
‣ நிலையான விநியோகம்
‣ தரக் கட்டுப்பாடு மற்றும் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றம்

நீலக்கல்லில் GaN இன் எபிடாக்ஸி(RGB/மினி/மைக்ரோ LED);
Si அடி மூலக்கூறில் GaN இன் எபிடாக்ஸி(யுவிசி);
Si அடி மூலக்கூறில் GaN இன் எபிடாக்ஸி(மின்னணு சாதனம்);
Si அடி மூலக்கூறில் Si இன் எபிடாக்ஸி(ஒருங்கிணைந்த சுற்று);
SiC அடி மூலக்கூறில் SiC இன் எபிடாக்ஸி(அடி மூலக்கூறு);
InP இல் InP இன் எபிடாக்ஸி

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும் PDF ஆக பதிவிறக்கவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

சீனாவில் ஆன்லைனில் வாங்கும் உயர்தர MOCVD சசெப்டர்

ஒரு வேஃபர் மின்னணு சாதனங்களில் பயன்படுத்தத் தயாராக இருப்பதற்கு முன்பு பல படிகளைக் கடந்து செல்ல வேண்டும். ஒரு முக்கியமான செயல்முறை சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி ஆகும், இதில் வேஃபர்கள் கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர்களில் கொண்டு செல்லப்படுகின்றன. சஸ்பெக்டர்களின் பண்புகள் மற்றும் தரம் வேஃபரின் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரத்தில் ஒரு முக்கிய விளைவைக் கொண்டுள்ளன.

எபிடாக்ஸி அல்லது MOCVD போன்ற மெல்லிய படல படிவு கட்டங்களுக்கு, அடி மூலக்கூறுகள் அல்லது "வேஃபர்களை" ஆதரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் அல்ட்ரா-தூய கிராஃபைட் உபகரணங்களை VET வழங்குகிறது. செயல்முறையின் மையத்தில், இந்த உபகரணங்கள், எபிடாக்ஸி சஸ்பெக்டர்கள் அல்லது MOCVD க்கான செயற்கைக்கோள் தளங்கள், முதலில் படிவு சூழலுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன:

● அதிக வெப்பநிலை.
● அதிக வெற்றிடம்.
● ஆக்ரோஷமான வாயு முன்னோடிகளின் பயன்பாடு.
● மாசுபாடு இல்லை, உரித்தல் இல்லை.
● சுத்தம் செய்யும் போது வலுவான அமிலங்களுக்கு எதிர்ப்பு.

VET எனர்ஜி என்பது குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தத் துறைக்கான பூச்சுடன் கூடிய தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு தயாரிப்புகளின் உண்மையான உற்பத்தியாளர். எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு சிறந்த உள்நாட்டு ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களிலிருந்து வருகிறது, உங்களுக்காக அதிக தொழில்முறை பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.

மேம்பட்ட பொருட்களை வழங்குவதற்காக நாங்கள் தொடர்ந்து மேம்பட்ட செயல்முறைகளை உருவாக்கி வருகிறோம், மேலும் பூச்சுக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான பிணைப்பை இறுக்கமாக்கும் மற்றும் பற்றின்மைக்கு குறைவான வாய்ப்புள்ளதாக மாற்றும் பிரத்யேக காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தை உருவாக்கியுள்ளோம்.

எங்கள் தயாரிப்புகளின் அம்சங்கள்:

1. 1700℃ வரை அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு.
2. உயர் தூய்மை மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை
3. சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
4. அதிக கடினத்தன்மை, சிறிய மேற்பரப்பு, நுண்ணிய துகள்கள்.
5. நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக நீடித்தது

சிவிடி SiC CVD SiC இன் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்பூச்சு
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) நோக்குநிலை
அடர்த்தி	3.21 கி/செ.மீ³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய SiZe	2~10μm
வேதியியல் தூய்மை	99.99995% (99.99995%)
வெப்ப கொள்ளளவு	640 ஜெ·கி.கி.^-1·கே^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃ வெப்பநிலை
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்கின் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·மீ^-1·கே^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10^-6K^-1