Çinli Üretici SiC Kaplı Grafit MOCVD Epitaksi Süseptör

Kısa Açıklama:

Saflık < 5 ppm
‣ İyi doping homojenliği
‣ Yüksek yoğunluk ve yapışma
‣ İyi korozyon önleyici ve karbon direnci

‣ Profesyonel özelleştirme
‣ Kısa teslim süresi
‣ İstikrarlı arz
‣ Kalite kontrolü ve sürekli iyileştirme

Safir üzerinde GaN'nin epitaksisi(RGB/Mini/Mikro LED);
Si alt tabaka üzerinde GaN'nin epitaksisi(UVC);
Si alt tabaka üzerinde GaN'nin epitaksisi(Elektronik Cihaz);
Si alt tabaka üzerinde Si'nin epitaksisi(Entegre devre);
SiC Alt Tabaka Üzerine SiC Epitaksisi(Alt tabaka);
InP'nin InP üzerine epitaksisi

 


Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Çin'den yüksek kaliteli MOCVD Susceptor satın almak

Yüksek kaliteli MOCVD Susceptor

Bir silikon levhanın elektronik cihazlarda kullanılmaya hazır hale gelmeden önce birkaç aşamadan geçmesi gerekir. Önemli süreçlerden biri, levhaların grafit taşıyıcılar üzerinde taşındığı silikon epitaksi işlemidir. Taşıyıcıların özellikleri ve kalitesi, levhanın epitaksiyel tabakasının kalitesi üzerinde çok önemli bir etkiye sahiptir.

Epitaksi veya MOCVD gibi ince film biriktirme aşamaları için VET, alt tabakaları veya "plakaları" desteklemek için kullanılan ultra saf grafit ekipman tedarik etmektedir. Sürecin özünde yer alan bu ekipman, epitaksi destek platformları veya MOCVD için uydu platformları, öncelikle biriktirme ortamına maruz bırakılır:

● Yüksek sıcaklık.
● Yüksek vakum.
● Aşındırıcı gaz halindeki öncül maddelerin kullanımı.
● Sıfır kirlenme, soyulma olmaması.
● Temizlik işlemleri sırasında güçlü asitlere karşı direnç

 

VET Energy, yarı iletken ve fotovoltaik endüstrisi için özel kaplamalı grafit ve silisyum karbür ürünlerinin gerçek üreticisidir. Teknik ekibimiz, yurt içi önde gelen araştırma kurumlarından gelmekte olup, size daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.

Sürekli olarak daha gelişmiş malzemeler sağlamak için ileri süreçler geliştiriyoruz ve kaplama ile alt tabaka arasındaki bağı daha sıkı ve ayrılmaya daha az eğilimli hale getirebilen özel, patentli bir teknoloji geliştirdik.

 

Ürünlerimizin özellikleri:

1. 1700℃'ye kadar yüksek sıcaklık oksidasyon direnci.
2. Yüksek saflık ve termal homojenlik
3. Mükemmel korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı dayanıklıdır.

4. Yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
5. Daha uzun kullanım ömrü ve daha dayanıklı

CVD SiC

CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama

Mülk

Tipik Değer

Kristal Yapısı

FCC β fazı polikristalin, esas olarak (111) yönelimli

Yoğunluk

3,21 g/cm³

Sertlik

2500 Vickers sertlik (500 g yük)

Tane Boyutu

2~10 μm

Kimyasal Saflık

99.99995%

Isı Kapasitesi

640 J·kg-1K-1

Süblimasyon Sıcaklığı

2700℃

Eğilme Mukavemeti

415 MPa RT 4 noktalı

Young Modülü

430 Gpa 4 noktalı büküm, 1300℃

Isı İletkenliği

300W·m-1K-1

Termal Genleşme (CTE)

4,5×10-6K-1

CVD SiC Filminin SEM Verileri

CVD SIC filminin tüm element analizi

Fabrikamızı ziyaret etmenizden memnuniyet duyarız, daha detaylı görüşelim!

VET Energy'nin CVD SiC kaplama işleme ekipmanı

VET Energy'nin iş birliği


  • Öncesi:
  • Sonraki:

  • WhatsApp Çevrimiçi Sohbet!