יצרן סין SiC מצופה גרפיט MOCVD אפיטקסי מונע

תמונה ראשית של ספקטרומטר אפיטקסי MOCVD מצופה גרפיט מצופה SiC של יצרן סין

תיאור קצר:

טוהר < 5ppm
‣ אחידות סימום טובה
‣ צפיפות והידבקות גבוהות
‣ עמידות טובה בפני קורוזיה ופחמן

‣ התאמה אישית מקצועית
‣ זמן אספקה קצר
‣ אספקה יציבה
‣ בקרת איכות ושיפור מתמיד

אפיטקסיה של GaN על ספיר(RGB/מיני/מיקרו LED);
אפיטקסיה של GaN על מצע Si(UVC);
אפיטקסיה של GaN על מצע Si(מכשיר אלקטרוני);
אפיטקסיה של סידן על מצע סידן(מעגל משולב);
אפיטקסיה של SiC על מצע SiC(מצע);
אפיטקסיה של InP על InP

שלחו לנו אימייל הורד כקובץ PDF

פרטי מוצר

תגי מוצר

קניית מונע MOCVD איכותי באינטרנט בסין

פרוסה רגילה צריכה לעבור מספר שלבים לפני שהיא מוכנה לשימוש במכשירים אלקטרוניים. תהליך חשוב אחד הוא אפיטקסיה של סיליקון, שבו הפרוסות נישאות על גבי סוספטורים מגרפיט. לתכונות ולאיכות הסוספטורים יש השפעה מכרעת על איכות השכבה האפיטקסיאלית של הפרוסה.

עבור שלבי שיקוע שכבה דקה כגון אפיטקסיה או MOCVD, VET מספקת ציוד גרפיט טהור במיוחד המשמש לתמיכה במצעים או "ופלים". בליבת התהליך, ציוד זה, סולידי אפיטקסיה או פלטפורמות לווייניות עבור ה-MOCVD, עוברים תחילה את סביבת השיקוע:

● טמפרטורה גבוהה.
● ואקום גבוה.
● שימוש בחומרי קדם גז אגרסיביים.
● אפס זיהום, היעדר קילוף.
● עמידות בפני חומצות חזקות במהלך פעולות ניקוי

VET Energy היא היצרנית האמיתית של מוצרי גרפיט וסיליקון קרביד בהתאמה אישית עם ציפוי עבור תעשיית המוליכים למחצה והפוטו-וולטאית. הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ויכול לספק לכם פתרונות חומרים מקצועיים יותר.

אנו מפתחים ללא הרף תהליכים מתקדמים כדי לספק חומרים מתקדמים יותר, ופיתחנו טכנולוגיה בלעדית רשומה כפטנט, שיכולה להפוך את הקשר בין הציפוי למצע לדחוק יותר ופחות נוטה להתנתקות.

תכונות המוצרים שלנו:

1. עמידות בפני חמצון בטמפרטורה גבוהה עד 1700 ℃.
2. טוהר גבוה ואחידות תרמית
3. עמידות מעולה בפני קורוזיה: חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים.
4. קשיות גבוהה, משטח קומפקטי, חלקיקים עדינים.
5. חיי שירות ארוכים יותר ועמידים יותר

מחלות לב וכלי דם SiC תכונות פיזיקליות בסיסיות של CVD SiCשִׁכבָה
נֶכֶס	ערך טיפוסי
מבנה גבישי	פולי-גבישי פאזה β של FCC, בעיקר אוריינטציה (111)
צְפִיפוּת	3.21 גרם/סמ"ק
קַשִׁיוּת	קשיות ויקרס 2500 (טעינה של 500 גרם)
גודל גרגרים	2~10 מיקרומטר
טוהר כימי	99.99995%
קיבולת חום	640 ג'ול·ק"ג^-1·K^-1
טמפרטורת סובלימציה	2700 ℃
חוזק כיפוף	415 מגה פסקל RT 4 נקודות
מודול יאנג	כיפוף 430 Gpa 4pt, 1300℃
מוליכות תרמית	300 וואט·מטר^-1·K^-1
התפשטות תרמית (CTE)	4.5×10^-6K^-1