Кітайскі вытворца графітавага MOCVD эпітаксіяльнага сусцэтара з пакрыццём SiC

Вытворца кітайскага графіту з пакрыццём SiC, MOCVD эпітаксіяльны сусцэтар, выява

Кароткае апісанне:

Чысціня < 5 праміле
‣ Добрая аднастайнасць допінгу
‣ Высокая шчыльнасць і адгезія
‣ Добрая антыкаразійная і вугляродная ўстойлівасць

‣ Прафесійная налада
‣ Кароткі тэрмін выканання
‣ Стабільныя пастаўкі
‣ Кантроль якасці і пастаяннае ўдасканаленне

Эпітаксія GaN на сапфіры(RGB/міні/мікра святлодыёд);
Эпітаксія GaN на падкладцы Si(УФ-С);
Эпітаксія GaN на падкладцы Si(Электронная прылада);
Эпітаксія крэмнію на крэмніевай падкладцы(Інтэгральная схема);
Эпітаксія SiC на падкладцы SiC(Субстрат);
Эпітаксія InP на InP

Дашліце нам ліст Спампаваць у фармаце PDF

Падрабязнасці прадукту

Тэгі прадукту

Купляйце высакаякасны MOCVD-сусцэптар онлайн у Кітаі

Пласціна павінна прайсці некалькі этапаў, перш чым будзе гатовая да выкарыстання ў электронных прыладах. Адным з важных працэсаў з'яўляецца крэмніевая эпітаксія, пры якой пласціны размяшчаюцца на графітавых сусцэптарах. Уласцівасці і якасць сусцэптараў аказваюць вырашальны ўплыў на якасць эпітаксіяльнага пласта пласціны.

Для этапаў нанясення тонкіх плёнак, такіх як эпітаксія або MOCVD, VET пастаўляе абсталяванне з ультрачыстага графіту, якое выкарыстоўваецца для падтрымкі падкладак або "пласцін". У аснове працэсу гэта абсталяванне, эпітаксіяльныя сусцэптары або спадарожнікавыя платформы для MOCVD, спачатку падвяргаюцца ўздзеянню асяроддзя нанясення:

● Высокая тэмпература.
● Высокі вакуум.
● Выкарыстанне агрэсіўных газападобных папярэднікаў.
● Нулявое забруджванне, адсутнасць лушчэння.
● Устойлівасць да моцных кіслот падчас ачысткі

VET Energy з'яўляецца сапраўдным вытворцам вырабаў з графіту і карбіду крэмнію з пакрыццём на заказ для паўправадніковай і фотаэлектрычнай прамысловасці. Наша тэхнічная каманда складаецца з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў і можа прапанаваць вам больш прафесійныя рашэнні па матэрыялах.

Мы пастаянна распрацоўваем перадавыя працэсы для стварэння больш дасканалых матэрыялаў і распрацавалі эксклюзіўную запатэнтаваную тэхналогію, якая дазваляе зрабіць сувязь паміж пакрыццём і падкладкай больш трывалай і менш схільнай да адслойвання.

Асаблівасці нашай прадукцыі:

1. Высокатэмпературная ўстойлівасць да акіслення да 1700℃.
2. Высокая чысціня і цеплавая аднастайнасць
3. Выдатная каразійная ўстойлівасць: кіслоты, шчолачы, солі і арганічныя рэагенты.
4. Высокая цвёрдасць, кампактная паверхня, дробныя часціцы.
5. Больш працяглы тэрмін службы і больш трывалы

ССЗ SiC Асноўныя фізічныя ўласцівасці CVD SiCпакрыццё
Маёмасць	Тыповае значэнне
Крышталічная структура	Полікрышталічная β-фаза ГЦК, пераважна арыентацыя (111)
Шчыльнасць	3,21 г/см³
Цвёрдасць	Цвёрдасць па Вікерсу 2500 (нагрузка 500 г)
Памер зерня	2~10 мкм
Хімічная чысціня	99,99995%
Цеплаёмістасць	640 Дж·кг^-1·К^-1
Тэмпература сублімацыі	2700℃
Трываласць на згіб	415 МПа RT 4-кропкавы
Модуль Юнга	430 Gpa, выгіб 4pt, 1300℃
Цеплаправоднасць	300 Вт·м^-1·К^-1
Цеплавое пашырэнне (КТР)	4,5×10^-6K^-1