Produttore cinese di suscettori per epitassia MOCVD in grafite rivestita in SiC

Breve descrizione:

Purezza < 5 ppm
‣ Buona uniformità dei controlli antidoping
‣ Elevata densità e adesione
‣ Buona resistenza alla corrosione e al carbonio

‣ Personalizzazione professionale
‣ Tempi di consegna brevi
‣ Fornitura stabile
‣ Controllo qualità e miglioramento continuo

Epitassia di GaN su zaffiro(LED RGB/Mini/Micro);
Epitassia di GaN su substrato di Si(UVC);
Epitassia di GaN su substrato di Si(Dispositivo elettronico);
Epitassia del silicio su substrato di silicio(Circuito integrato);
Epitassia di SiC su substrato di SiC(Substrato);
Epitassia di InP su InP

 


Dettagli del prodotto

Etichette prodotto

Acquisto online in Cina di suscettori MOCVD di alta qualità.

Suscettore MOCVD di alta qualità

Un wafer deve passare attraverso diverse fasi prima di essere pronto per l'uso nei dispositivi elettronici. Un processo importante è l'epitassia del silicio, in cui i wafer vengono trasportati su supporti di grafite. Le proprietà e la qualità dei supporti hanno un effetto cruciale sulla qualità dello strato epitassiale del wafer.

Per le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o la MOCVD, VET fornisce apparecchiature in grafite ultrapura utilizzate per supportare i substrati o "wafer". Al centro del processo, queste apparecchiature, ovvero i supporti per l'epitassia o le piattaforme satellite per la MOCVD, vengono prima sottoposte all'ambiente di deposizione:

● Temperatura elevata.
● Vuoto elevato.
● Utilizzo di precursori gassosi aggressivi.
● Nessuna contaminazione, assenza di sfaldamento.
● Resistenza agli acidi forti durante le operazioni di pulizia

 

VET Energy è un produttore specializzato nella realizzazione di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con rivestimento per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. Il nostro team tecnico, composto da professionisti provenienti dai migliori istituti di ricerca nazionali, è in grado di offrire soluzioni di materiali altamente professionali.

Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali sempre più performanti e abbiamo messo a punto una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più forte e meno soggetta al distacco.

 

Caratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.

4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e maggiore resistenza

Malattia cardiovascolare SiC

Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

Proprietà

Valore tipico

Struttura cristallina

Fase β FCC policristallina, principalmente orientazione (111)

Densità

3,21 g/cm³

Durezza

Durezza Vickers 2500 (carico di 500 g)

Dimensione del grano

2~10μm

Purezza chimica

99,99995%

Capacità termica

640 J·kg-1·K-1

Temperatura di sublimazione

2700℃

Resistenza alla flessione

415 MPa RT 4 punti

Modulo di Young

430 GPa piegatura a 4 punti, 1300℃

Conduttività termica

300 W·m-1·K-1

Dilatazione termica (CTE)

4,5×10-6K-1

DATI SEM DEL FILM DI SIC CVD

Analisi elementare completa del film CVD SIC

Vi diamo un caloroso benvenuto a visitare il nostro stabilimento, saremo lieti di discuterne ulteriormente!

Apparecchiature di VET Energy per la lavorazione di rivestimenti in SiC CVD

cooperazione commerciale di VT Energy


  • Precedente:
  • Prossimo:

  • Chatta online su WhatsApp!