Kamupani gaosi oloa Saina SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

Ata Fa'aalia o le Kamupani Gaosi Saina SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

Fa'amatalaga Pupuu:

Mama < 5ppm
‣ Lelei le tutusa o le fa'aaogaina o le doping
‣ Maualuga le mafiafia ma le pipii
‣ E tete'e lelei i le 'ele ma le tete'e atu i le kaponi

‣ Fa'apitoa fa'apolofesa
‣ Pupuu le taimi e fa'atino ai
‣ Sapalai mautu
‣ Puleaina o le lelei ma le faʻaleleia atili faifai pea

Epitaxy o GaN i luga o le Safaira(RGB/Laiti/Laiti LED);
Epitaxy o GaN i luga o le Si Substrate(UVC);
Epitaxy o GaN i luga o le Si Substrate(Meafaigaluega Fa'aeletoronika);
O le epitaxy o le Si i luga o le Si Substrate(Matagaluega tu'ufa'atasi);
Epitaxy o le SiC i luga o le SiC Substrate(Mea e fa'apipi'i ai le eleele);
Fa'amaumauga o le epitaxy o le InP i luga o le InP

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Fa'amatalaga o le oloa

Fa'ailoga o Oloa

MOCVD Susceptor maualuga lelei o lo'o fa'atauina i luga ole initaneti i Saina

E manaʻomia ona ui atu se wafer i ni laʻasaga se tele aʻo leʻi sauni mo le faʻaaogaina i masini eletise. O se tasi o faiga taua o le silicon epitaxy, lea e feaveaʻi ai wafer i luga o graphite susceptors. O meatotino ma le lelei o susceptors e iai sona aafiaga taua i le lelei o le vaega epitaxial o le wafer.

Mo vaega o le fa'aputuina o ata manifinifi e pei o le epitaxy po'o le MOCVD, e tu'uina atu e le VET ni meafaigaluega graphite mama tele e fa'aaoga e lagolago ai substrates po'o "wafers". I le fatu o le faiga, o nei meafaigaluega, o epitaxy susceptors po'o satellite platforms mo le MOCVD, e muamua fa'atinoina i le siosiomaga fa'aputuina:

● Vevela maualuga.
● Malosiaga maualuga o le mitiia o le ea.
● Faaaogāina o kasa malolosi e pei o ni mea e fa'aola ai le ea.
● Leai se pisia, leai se mageso.
● Tete'e atu i 'āseti malolosi i taimi o galuega fa'amamā

O le VET Energy o le kamupani gaosi oloa fa'apitoa mo le graphite ma le silicon carbide fa'atasi ai ma le ufiufi mo le semiconductor ma le photovoltaic industries. O la matou 'au fa'apitoa e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e sili ona lelei i totonu o le atunu'u, e mafai ona tu'uina atu ni fofo fa'apolofesa mo meafaitino mo oe.

Matou te faʻaauau pea ona atiaʻe ni faiga faʻaonaponei e tuʻuina atu ai meafaitino e sili atu ona faʻaonaponei, ma ua matou faia se tekinolosi faʻapitoa ua pateniina, lea e mafai ona faʻamautu ai le pipii i le va o le ufiufi ma le mea e fai ai ma faʻaitiitia ai le faigofie ona motusia.

Vaega o a matou oloa:

1. Tete'e atu i le fa'ama'i o le vevela maualuga e o'o atu i le 1700 ℃.
2. Mama maualuga ma le tutusa o le vevela
3. Tete'e lelei i le 'ele: 'āsi, alkali, masima ma vaila'au fa'aola.
4. Ma'a'a maualuga, laualuga mafiafia, fasi manifinifi.
5. Umi atu le ola tautua ma sili atu ona tumau

CVD SiC Uiga faaletino faavae o le CVD SiCufiufi
Meatotino	Tau Masani
Fausaga o le Kilisitala	FCC β phase polycrystalline, e masani lava ona fa'atulagaina (111)
Mafiafia	3.21 kalama/cm³
Faigata	2500 Vickers hardness (500g avega)
Tele o le saito	2~10μm
Mama Fa'akemikolo	99.99995%
Malosiaga o le Vevela	640 J·kg^-1·K^-1
Vevela o le Sublimation	2700℃
Malosiaga Fa'alava	415 MPa RT 4-point
Modulus a Talavou	430 Gpa 4pt pi'o, 1300℃
Fa'avevela o le Tafega	300W·m^-1·K^-1
Fa'alauteleina o le Vevela (CTE)	4.5×10^-6K^-1