Xitoy ishlab chiqaruvchisi SiC qoplangan grafit MOCVD epitaxy susceptor

Qisqacha tavsif:

Tozalik < 5ppm
‣ Yaxshi doping bir xilligi
‣ Yuqori zichlik va yopishqoqlik
‣ Yaxshi korroziyaga qarshi va uglerodga chidamlilik

‣ Professional moslashtirish
‣ Qisqa muddat
‣ Barqaror ta'minot
‣ Sifat nazorati va doimiy takomillashtirish

Safirdagi GaN epitaksisi(RGB/Mini/Mikro LED);
Si substratida GaN epitaksisi(UVC);
Si substratida GaN epitaksisi(Elektron qurilma);
Si substratida Si epitaksisi(Integratsiyalashgan sxema);
SiC substratida SiC epitaksisi(Substrat);
InP bo'yicha InP epitaksisi

Bizga elektron pochta xabarini yuboring PDF sifatida yuklab oling

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Xitoyda onlayn xarid qilish uchun yuqori sifatli MOCVD Susceptor

Elektron qurilmalarda foydalanish uchun gofret bir necha bosqichlardan o'tishi kerak. Muhim jarayonlardan biri kremniy epitaksisi bo'lib, unda gofretlar grafit ushlagichlarida olib boriladi. Susseptorlarning xususiyatlari va sifati gofret epitaksial qatlamining sifatiga hal qiluvchi ta'sir ko'rsatadi.

Epitaksiya yoki MOCVD kabi yupqa plyonkalarni cho'ktirish bosqichlari uchun VET substratlar yoki "gofretlarni" qo'llab-quvvatlash uchun ishlatiladigan ultra toza grafit uskunasini taqdim etadi. Jarayonning negizida ushbu uskuna, epitaksiya sezgichlari yoki MOCVD uchun sun'iy yo'ldosh platformalari birinchi navbatda cho'kma muhitiga ta'sir qiladi:

● Yuqori harorat.
● Yuqori vakuum.
● Agressiv gazsimon prekursorlardan foydalanish.
● Nol ifloslanish, peeling yo'qligi.
● Tozalash operatsiyalari paytida kuchli kislotalarga qarshilik

VET Energy - yarimo'tkazgich va fotovoltaik sanoat uchun qoplamali moslashtirilgan grafit va kremniy karbid mahsulotlarini haqiqiy ishlab chiqaruvchisi. Bizning texnik guruhimiz eng yaxshi mahalliy tadqiqot institutlaridan keladi, siz uchun ko'proq professional moddiy echimlarni taqdim etishi mumkin.

Biz yanada ilg'or materiallar bilan ta'minlash uchun ilg'or jarayonlarni doimiy ravishda ishlab chiqamiz va qoplama va substrat o'rtasidagi bog'lanishni yanada qattiqroq va ajralishga kamroq moyil qiladigan eksklyuziv patentlangan texnologiyani ishlab chiqdik.

Mahsulotlarimizning xususiyatlari:

1. 1700 ℃ gacha bo'lgan yuqori haroratli oksidlanish qarshiligi.
2. Yuqori tozalik va termal bir xillik
3. Zo'r korroziyaga chidamlilik: kislota, gidroksidi, tuz va organik reagentlar.
4. Yuqori qattiqlik, ixcham sirt, mayda zarralar.
5. Xizmat muddati uzoqroq va bardoshli

CVD SiC CVD SiC ning asosiy fizik xususiyatlariqoplama
Mulk	Oddiy qiymat
Kristal tuzilishi	FCC b fazali polikristal, asosan (111) yo'nalishi
Zichlik	3,21 g/sm³
Qattiqlik	2500 Vickers qattiqligi (500 g yuk)
Don hajmi	2 ~ 10 mkm
Kimyoviy tozalik	99,99995%
Issiqlik quvvati	640 J·kg^-1· K^-1
Sublimatsiya harorati	2700 ℃
Bukilish kuchi	415 MPa RT 4 nuqtali
Yosh moduli	430 Gpa 4pt egilish, 1300 ℃
Issiqlik o'tkazuvchanligi	300 Vt·m^-1· K^-1
Termal kengayish (CTE)	4,5×10^-6K^-1