Çin İstehsalçısı SiC Kaplamalı Qrafit MOCVD Epitaxy Susceptor

Çin İstehsalçı SiC Örtülü Qrafit MOCVD Epitaksi Qəbuledici Xüsusi Şəkil

Qısa təsvir:

Təmizlik < 5ppm
‣ Yaxşı dopinq vahidliyi
‣ Yüksək sıxlıq və yapışma
‣ Yaxşı antikorozif və karbon müqaviməti

‣ Professional fərdiləşdirmə
‣ Qısa çatdırılma müddəti
‣ Sabit təchizat
‣ Keyfiyyətə nəzarət və davamlı təkmilləşdirmə

Sapphire üzərində GaN epitaksiyası(RGB/Mini/Mikro LED);
Si Substratda GaN epitaksiyası(UVC);
Si Substratda GaN epitaksiyası(Elektron Cihaz);
Si substratında Si epitaksiyası(inteqrasiya edilmiş dövrə);
SiC Substrat üzərində SiC epitaksiyası(Substrat);
InP-də InP epitaksisi

Bizə e-poçt göndərin PDF olaraq yükləyin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Çində onlayn satın alınan yüksək keyfiyyətli MOCVD Susceptor

Elektron cihazlarda istifadəyə hazır olan vafli bir neçə mərhələdən keçməlidir. Əhəmiyyətli proseslərdən biri silikon epitaksiyadır ki, bu zaman vaflilər qrafit qəbulediciləri üzərində aparılır. Susseptorların xassələri və keyfiyyəti vaflinin epitaksial təbəqəsinin keyfiyyətinə həlledici təsir göstərir.

Epitaksiya və ya MOCVD kimi nazik təbəqənin çökmə mərhələləri üçün VET substratları və ya "vafliləri" dəstəkləmək üçün istifadə olunan ultra təmiz qrafit avadanlığı təmin edir. Prosesin əsasını təşkil edən bu avadanlıq, MOCVD üçün epitaksiya həssasları və ya peyk platformaları əvvəlcə çökmə mühitinə məruz qalır:

● Yüksək temperatur.
● Yüksək vakuum.
● Aqressiv qaz prekursorlarının istifadəsi.
● Sıfır çirklənmə, soyulmanın olmaması.
● Təmizləmə əməliyyatları zamanı güclü turşulara qarşı müqavimət

VET Energy, yarımkeçiricilər və fotovoltaik sənaye üçün üzlüklü qrafit və silisium karbid məhsullarının real istehsalçısıdır. Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat institutlarından gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.

Biz davamlı olaraq daha qabaqcıl materiallarla təmin etmək üçün qabaqcıl prosesləri inkişaf etdiririk və örtüklə substrat arasındakı əlaqəni daha sıx və qopmağa daha az meylli edə bilən eksklüziv patentləşdirilmiş texnologiya işləyib hazırlamışıq.

Məhsullarımızın xüsusiyyətləri:

1. 1700 ℃-ə qədər yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti.
2. Yüksək təmizlik və istilik vahidliyi
3. Əla korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
4. Yüksək sərtlik, kompakt səth, incə hissəciklər.
5. Daha uzun xidmət müddəti və daha davamlıdır

CVD SiC CVD SiC-nin əsas fiziki xassələriörtük
Əmlak	Tipik Dəyər
Kristal strukturu	FCC β faza polikristal, əsasən (111) oriyentasiya
Sıxlıq	3,21 q/sm³
Sərtlik	2500 Vickers sərtliyi (500 q yük)
Taxıl Ölçüsü	2 ~ 10μm
Kimyəvi Saflıq	99.99995%
İstilik tutumu	640 J·kq^-1· K^-1
Sublimasiya temperaturu	2700 ℃
Bükülmə Gücü	415 MPa RT 4 nöqtəli
Gəncin Modulu	430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
İstilik keçiriciliyi	300W·m^-1· K^-1
Termal Genişlənmə (CTE)	4,5×10^-6K^-1