Čínsky výrobca SiC potiahnutého grafitu MOCVD epitaxný susceptor

Obrázok epitaxného susceptora MOCVD s grafitom potiahnutým SiC od čínskeho výrobcu z Číny

Stručný popis:

Čistota < 5 ppm
‣ Dobrá rovnomernosť dopingu
‣ Vysoká hustota a priľnavosť
‣ Dobrá antikorózna a uhlíková odolnosť

‣ Profesionálne prispôsobenie
‣ Krátka dodacia lehota
‣ Stabilné dodávky
‣ Kontrola kvality a neustále zlepšovanie

Epitaxia GaN na zafíre(RGB/Mini/Mikro LED);
Epitaxia GaN na Si substráte(UVC);
Epitaxia GaN na Si substráte(Elektronické zariadenie);
Epitaxia Si na Si substráte(Integrovaný obvod);
Epitaxia SiC na SiC substráte(Substrát);
Epitaxia InP na InP

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detaily produktu

Značky produktov

Vysokokvalitný MOCVD susceptor, ktorý si môžete kúpiť online v Číne

Doštička musí prejsť niekoľkými krokmi, kým je pripravená na použitie v elektronických zariadeniach. Jedným z dôležitých procesov je kremíková epitaxia, pri ktorej sú doštičky uložené na grafitových susceptoroch. Vlastnosti a kvalita susceptorov majú kľúčový vplyv na kvalitu epitaxnej vrstvy doštičky.

Pre fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, spoločnosť VET dodáva zariadenia z ultračistého grafitu, ktoré sa používajú na podporu substrátov alebo „doštičiek“. V jadre procesu sú tieto zariadenia, epitaxné susceptory alebo satelitné platformy pre MOCVD, najprv vystavené depozičnému prostrediu:

● Vysoká teplota.
● Vysoké vákuum.
● Použitie agresívnych plynných prekurzorov.
● Nulová kontaminácia, absencia lúpania.
● Odolnosť voči silným kyselinám počas čistenia

Spoločnosť VET Energy je skutočným výrobcom grafitových a karbidových produktov s povlakom na mieru pre polovodičový a fotovoltaický priemysel. Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.

Neustále vyvíjame pokročilé procesy, aby sme poskytovali ešte zdokonalenejšie materiály, a vyvinuli sme exkluzívnu patentovanú technológiu, ktorá dokáže pevnejšie spojiť náter a podklad a znížiť jeho náchylnosť na oddeľovanie.

Vlastnosti našich produktov:

1. Odolnosť voči oxidácii pri vysokých teplotách až do 1700 ℃.
2. Vysoká čistota a tepelná rovnomernosť
3. Vynikajúca odolnosť proti korózii: kyseliny, zásady, soli a organické činidlá.
4. Vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
5. Dlhšia životnosť a odolnejšie

Kardiovaskulárne ochorenie (KVO) SiC Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter
Nehnuteľnosť	Typická hodnota
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza polykryštalická, prevažne (111) orientácia
Hustota	3,21 g/cm³
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa 2500 (zaťaženie 500 g)
Veľkosť zrna	2~10μm
Chemická čistota	99,99995 %
Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
Teplota sublimácie	2700 ℃
Pevnosť v ohybe	415 MPa RT 4-bodový
Youngov modul	430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃
Tepelná vodivosť	300 W·m^-1·K^-1
Tepelná rozťažnosť (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1