ក្រុមហ៊ុនផលិតចិន SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

ភាពបរិសុទ្ធ < 5ppm
‣ ឯកសណ្ឋានសារធាតុញៀនល្អ។
‣ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងការស្អិត
‣ ធន់នឹងការច្រេះ និងកាបោនបានល្អ

‣ ការប្ដូរតាមបំណងវិជ្ជាជីវៈ
‣ ពេលវេលានាំមុខខ្លី
‣ ការផ្គត់ផ្គង់មានស្ថេរភាព
‣ ការត្រួតពិនិត្យគុណភាព និងការកែលម្អជាបន្តបន្ទាប់

Epitaxy នៃ GaN នៅលើត្បូងកណ្តៀង(RGB/Mini/Micro LED);
Epitaxy នៃ GaN នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម Si(UVC);
Epitaxy នៃ GaN នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម Si(ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក);
Epitaxy នៃ Si នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម Si(សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា);
Epitaxy នៃ SiC នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម SiC(ស្រទាប់ខាងក្រោម);
Epitaxy នៃ InP នៅលើ InP

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង ទាញយកជា PDF

ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

គុណភាពខ្ពស់ MOCVD Susceptor ទិញតាមអ៊ីនធឺណិតក្នុងប្រទេសចិន

wafer ត្រូវការឆ្លងកាត់ជំហានជាច្រើនមុនពេលវារួចរាល់សម្រាប់ការប្រើប្រាស់នៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ ដំណើរការសំខាន់មួយគឺ ស៊ីលីកុនអេពីតាស៊ី ដែលនៅក្នុងនោះ wafers ត្រូវបានអនុវត្តនៅលើ graphite susceptors ។ លក្ខណៈសម្បត្តិ និងគុណភាពនៃសារធាតុ susceptors មានឥទ្ធិពលយ៉ាងសំខាន់ទៅលើគុណភាពនៃស្រទាប់ epitaxial របស់ wafer ។

សម្រាប់ដំណាក់កាលនៃស្រទាប់ស្រទាប់ស្តើងដូចជា epitaxy ឬ MOCVD VET ផ្គត់ផ្គង់ឧបករណ៍ក្រាហ្វិចសុទ្ធដែលប្រើសម្រាប់ទ្រទ្រង់ស្រទាប់ខាងក្រោម ឬ "wafers" ។ នៅស្នូលនៃដំណើរការនេះ គ្រឿងបរិក្ខារនេះ ឧបករណ៍ការពារអេពីតាស៊ី ឬវេទិកាផ្កាយរណបសម្រាប់ MOCVD ត្រូវបានទទួលរងនូវបរិយាកាសនៃការទម្លាក់គ្រាប់បែកជាមុនសិន៖

● សីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
● បូមធូលីខ្ពស់។
● ការប្រើប្រាស់សារធាតុឧស្ម័នឈ្លានពាន។
●គ្មានការចម្លងរោគ អវត្តមាននៃការរបក។
● ធន់នឹងអាស៊ីតខ្លាំងកំឡុងពេលប្រតិបត្តិការសម្អាត

VET Energy គឺជាអ្នកផលិតពិតប្រាកដនៃផលិតផលក្រាហ្វិច និងស៊ីលីកុនកាបូតតាមតម្រូវការជាមួយនឹងថ្នាំកូតសម្រាប់ឧស្សាហកម្ម semiconductor និង photovoltaic ។ ក្រុមបច្ចេកទេសរបស់យើងមកពីស្ថាប័នស្រាវជ្រាវក្នុងស្រុកកំពូល អាចផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈបន្ថែមទៀតសម្រាប់អ្នក។

យើងបន្តអភិវឌ្ឍដំណើរការកម្រិតខ្ពស់ដើម្បីផ្តល់នូវសម្ភារៈទំនើបបន្ថែមទៀត ហើយបានអនុវត្តបច្ចេកវិទ្យាដែលមានប៉ាតង់ផ្តាច់មុខ ដែលអាចធ្វើឱ្យការផ្សារភ្ជាប់រវាងថ្នាំកូត និងស្រទាប់ខាងក្រោមកាន់តែតឹង ហើយងាយនឹងមានការផ្ដាច់ចេញ។

លក្ខណៈពិសេសនៃផលិតផលរបស់យើង៖

1. ធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់រហូតដល់ 1700 ℃។
2. ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់និងឯកសណ្ឋានកម្ដៅ
3. ធន់នឹងច្រេះល្អ៖ អាស៊ីត អាល់កាឡាំង អំបិល និងសារធាតុសរីរាង្គ។
4. ភាពរឹងខ្ពស់ ផ្ទៃបង្រួម ភាគល្អិតល្អ។
5. អាយុកាលសេវាកម្មយូរជាង និងប្រើប្រាស់បានយូរជាងមុន

CVD SiC លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តមូលដ្ឋាននៃ CVD SiCថ្នាំកូត
ទ្រព្យសម្បត្តិ	តម្លៃធម្មតា
រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់	FCC β ដំណាក់កាល polycrystalline ជាចម្បង (111) ការតំរង់ទិស
ដង់ស៊ីតេ	3.21 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3
រឹង	2500 Vickers រឹង (500 ក្រាម)
គ្រាប់ធញ្ញជាតិ SiZe	2 ~ 10 μm
ភាពបរិសុទ្ធគីមី	99.99995%
សមត្ថភាពកំដៅ	640 J · គីឡូក្រាម^-1· ខេ^-1
សីតុណ្ហភាព Sublimation	២៧០០ អង្សាសេ
កម្លាំងបត់បែន	415 MPa RT 4 ចំណុច
ម៉ូឌុលរបស់ Young	430 Gpa 4pt ពត់, 1300 ℃
ចរន្តកំដៅ	៣០០ វ៉^-1· ខេ^-1
ការពង្រីកកំដៅ (CTE)	៤.៥ × ១០^-6K^-1