Karbîda silîkonê (SiC) materyalek nîvconductor a pêkhatî ya nû ye. Karbîda silîkonê xwedî valahiyek mezin a bendê ye (nêzîkî 3 caran silîkonê), hêza qada krîtîk a bilind (nêzîkî 10 caran silîkonê), û guhêzbariya germî ya bilind e (nêzîkî 3 caran silîkonê). Ew materyalek nîvconductor a nifşê pêşerojê ya girîng e. Pêçanên SiC bi berfirehî di pîşesaziya nîvconductor û fotovoltaîkên rojê de têne bikar anîn. Bi taybetî, susceptorên ku di mezinbûna epitaksiyal a LED-an û epitaksiya yek-kristala Si-ê de têne bikar anîn, karanîna pêçana SiC hewce dikin. Ji ber meyla bilindbûna bihêz a LED-an di pîşesaziya ronahîkirin û pêşandanê de, û pêşkeftina xurt a pîşesaziya nîvconductor,Berhema pêçandina SiCperspektîf pir baş in.
QADA SERLÊDANÊ
Paqijî, Avahiya SEM, analîza qalindahiyê yaPêçandina SiC
Paqijiya pêçanên SiC li ser grafîtê bi karanîna CVD digihîje %99.9995. Avahiya wê fcc e. Fîlmên SiC yên li ser grafîtê hatine pêçan wekî ku di daneyên XRD (Wêne 1) de tê xuyang kirin, bi awayekî (111) hatine rêzkirin, ku ev yek kalîteya wê ya krîstalî ya bilind nîşan dide. Qalindahiya fîlma SiC pir yekreng e wekî ku di Wêne 2 de tê xuyang kirin.
Wêne 2: yekrengiya stûriya fîlmên SiC SEM û XRD ya fîlma beta-SiC li ser grafîtê
Daneyên SEM ên fîlma tenik a CVD SiC, mezinahiya krîstalê 2 ~ 1 Opm e
Avahiya krîstal a fîlma CVD SiC avahiyek kubîk a rû-navendî ye, û arastekirina mezinbûna fîlmê nêzîkî% 100 e.
Bi silîkon karbîd (SiC) hatiye pêçandinbingeh ji bo silîkona yek-kristalî û epîtaksîya GaN bingeha herî baş e, ku pêkhateya bingehîn a firna epîtaksîyê ye. Bingeh aksesûarek hilberînê ya sereke ye ji bo silîkona yek-kristalî ji bo çerxên entegre yên mezin. Ew xwedî paqijiyek bilind, berxwedana germahiya bilind, berxwedana korozyonê, tengbûna hewayê ya baş û taybetmendiyên din ên materyalê yên hêja ye.
Sepandin û bikaranîna berhemê
Pêçandina bingeha grafîtê ji bo mezinbûna epitaksiyal a silîkona krîstala yekaneJi bo makîneyên Aixtron û hwd. guncaw e. Qalindahiya pêçandinê: 90~150um. Qûtra kratera waferê 55 mm ye.
Dema weşandinê: 14ê Adarê, 2022