Silicon carbide (SiC) bụ ihe ọhụrụ e ji emepụta semiconductor. Silicon carbide nwere nnukwu oghere band (ihe dị ka silicon ugboro atọ), ike ubi dị oke mkpa (ihe dị ka silicon ugboro iri), ike okpomọkụ dị elu (ihe dị ka silicon ugboro atọ). Ọ bụ ihe dị mkpa maka semiconductor ọgbọ na-abịa. A na-ejikarị mkpuchi SiC eme ihe n'ụlọ ọrụ semiconductor na fotovoltaics anyanwụ. Karịsịa, ihe ndị na-egbochi ihe eji eme ihe na uto epitaxial nke LEDs na Si otu kristal epitaxy chọrọ iji mkpuchi SiC. N'ihi mmụba siri ike nke LEDs na ụlọ ọrụ ọkụ na ngosipụta, na mmepe siri ike nke ụlọ ọrụ semiconductor,Ngwaahịa mkpuchi SiCatụmanya dị ezigbo mma.
Ubi Ngwa
Ịdị ọcha, Nhazi SEM, nyocha ọkpụrụkpụ nkeMkpuchi SiC
Ịdị ọcha nke mkpuchi SiC na graphite site na iji CVD dị elu ruo 99.9995%. Nhazi ya bụ fcc. Ihe nkiri SiC nke a kpuchiri na graphite na-adabere na (111) dịka egosiri na data XRD (Fig.1) nke na-egosi ịdị mma kristal ya dị elu. Ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri SiC dị nnọọ iche dịka egosiri na Fig. 2.
Foto nke 2: otu ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri SiC SEM na XRD nke ihe nkiri beta‐SiC na graphite
Data SEM nke ihe nkiri dị gịrịgịrị CVD SiC, nha kristal ahụ bụ 2 ~ 1 Opm
Nhazi kristal nke ihe nkiri CVD SiC bụ akụkụ cubic nke ihu, nhazi uto ihe nkiri ahụ dịkwa nso na 100%
A na-ekpuchi silicon carbide (SiC)ntọala bụ ntọala kacha mma maka otu kristal silicon na GaN epitaxy, nke bụ isi ihe dị na ọkụ epitaxy. Ntọala ahụ bụ ihe mgbakwunye mmepụta dị mkpa maka monocrystalline silicon maka nnukwu sekit agbakwunyere. O nwere ịdị ọcha dị elu, iguzogide okpomọkụ dị elu, iguzogide nchara, ezigbo ikuku siri ike na njirimara ihe ndị ọzọ dị mma.
Ngwa na ojiji ngwaahịa
Mkpuchi isi graphite maka uto epitaxial silicon kristal otu Dabara adaba maka igwe Aixtron, wdg. Ọkpụrụkpụ mkpuchi: 90 ~ 150um Dayameta nke oghere wafer bụ 55mm.
Oge ozi: Maachị-14-2022