સૌર ફોટોવોલ્ટેઇક ઉત્પાદનો

શુદ્ધતા, SEM માળખું, જાડાઈ વિશ્લેષણSiC કોટિંગ

CVD નો ઉપયોગ કરીને ગ્રેફાઇટ પર SiC કોટિંગ્સની શુદ્ધતા 99.9995% જેટલી ઊંચી છે. તેનું માળખું fcc છે. XRD ડેટા (આકૃતિ 1) માં બતાવ્યા પ્રમાણે ગ્રેફાઇટ પર કોટેડ SiC ફિલ્મ્સ (111) લક્ષી છે જે તેની ઉચ્ચ સ્ફટિકીય ગુણવત્તા દર્શાવે છે. આકૃતિ 2 માં બતાવ્યા પ્રમાણે SiC ફિલ્મની જાડાઈ ખૂબ જ સમાન છે.

આકૃતિ 2: ગ્રેફાઇટ પર બીટા-SiC ફિલ્મના SiC ફિલ્મ SEM અને XRD ની જાડાઈનો ગણવેશ

CVD SiC પાતળી ફિલ્મનો SEM ડેટા, સ્ફટિકનું કદ 2~1 Opm છે

CVD SiC ફિલ્મનું સ્ફટિક માળખું ચહેરા-કેન્દ્રિત ઘન માળખું છે, અને ફિલ્મ વૃદ્ધિ દિશા 100% ની નજીક છે.

સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) કોટેડસિંગલ ક્રિસ્ટલ સિલિકોન અને GaN એપિટાક્સી માટે બેઝ શ્રેષ્ઠ બેઝ છે, જે એપિટાક્સી ફર્નેસનો મુખ્ય ઘટક છે. મોટા ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ માટે મોનોક્રિસ્ટલાઇન સિલિકોન માટે બેઝ મુખ્ય ઉત્પાદન સહાયક છે. તેમાં ઉચ્ચ શુદ્ધતા, ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, સારી હવા ચુસ્તતા અને અન્ય ઉત્તમ સામગ્રી લાક્ષણિકતાઓ છે.

ઉત્પાદનનો ઉપયોગ અને ઉપયોગ

સિંગલ ક્રિસ્ટલ સિલિકોન એપિટેક્સિયલ ગ્રોથ માટે ગ્રેફાઇટ બેઝ કોટિંગ એઇક્સ્ટ્રોન મશીનો વગેરે માટે યોગ્ય કોટિંગ જાડાઈ: 90~150um વેફર ક્રેટરનો વ્યાસ 55mm છે.