Кремний карбиді (SiC) - жаңа қосылыс жартылай өткізгіш материал. Кремний карбиді үлкен тыйым салынған аймаққа (шамамен 3 есе кремнийге), жоғары критикалық өріс кернеулігіне (шамамен 10 есе кремнийге), жоғары жылу өткізгіштігіне (шамамен 3 есе кремнийге) ие. Бұл маңызды келесі буын жартылай өткізгіш материалы. SiC жабындары жартылай өткізгіш өнеркәсібінде және күн фотоэлектрлік техникасында кеңінен қолданылады. Атап айтқанда, жарықдиодтардың эпитаксиалды өсуінде және Si монокристалл эпитаксиінде қолданылатын сусцепторлар SiC жабынын пайдалануды қажет етеді. Жарықтандыру және дисплей өнеркәсібіндегі жарықдиодтардың күшті өсу үрдісіне және жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қарқынды дамуына байланысты,SiC жабын өніміперспективалары өте жақсы.
ӨТІНІМ ӨРІСІ
Тазалық, SEM құрылымы, қалыңдығын талдауSiC жабыны
Графитке CVD қолдану арқылы жасалған SiC жабындарының тазалығы 99,9995%-ға дейін жетеді. Оның құрылымы fcc. Графитке жабылған SiC қабықшалары рентгендік дифракция деректерінде (1-сурет) көрсетілгендей (111) бағытталған, бұл оның жоғары кристалдық сапасын көрсетеді. SiC қабықшасының қалыңдығы 2-суретте көрсетілгендей өте біркелкі.
2-сурет: SiC пленкаларының қалыңдық біркелкілігі. Графиттегі бета-SiC пленкасының SEM және рентгендік рефлекторлық дифракциясы.
CVD SiC жұқа пленкасының SEM деректері, кристалл өлшемі 2 ~ 1 Опм
CVD SiC пленкасының кристалдық құрылымы бетке бағытталған кубтық құрылым болып табылады, ал пленканың өсу бағыты 100%-ға жақын.
Кремний карбиді (SiC) қапталғаннегіз - монокристалды кремний және эпитаксия пешінің негізгі компоненті болып табылатын GaN эпитаксиясы үшін ең жақсы негіз. Негіз - үлкен интегралды схемаларға арналған монокристалды кремний өндірісінің негізгі аксессуарлары. Ол жоғары тазалыққа, жоғары температураға төзімділікке, коррозияға төзімділікке, жақсы ауа өткізбейтіндікке және басқа да тамаша материалдық сипаттамаларға ие.
Өнімді қолдану және пайдалану
Монокристалды кремний эпитаксиалды өсуіне арналған графит негізіндегі жабын Aixtron машиналарына және т.б. жарамды Қаптама қалыңдығы: 90~150 мкм Вафли кратерінің диаметрі 55 мм.
Жарияланған уақыты: 2022 жылғы 14 наурыз