Ny karbida silikônina (SiC) dia akora semiconductor vaovao mifangaro. Ny karbida silikônina dia manana elanelana tarika lehibe (eo amin'ny 3 heny noho ny silikônina), tanjaky ny saha mitsikera avo lenta (eo amin'ny 10 heny noho ny silikônina), ary conductivity mafana avo lenta (eo amin'ny 3 heny noho ny silikônina). Akora semiconductor taranaka manaraka manan-danja izy io. Ampiasaina betsaka amin'ny indostrian'ny semiconductor sy ny photovoltaics amin'ny masoandro ny coatings SiC. Indrindra indrindra, ny susceptors ampiasaina amin'ny fitomboan'ny epitaxial an'ny LED sy ny epitaxy kristaly tokana Si dia mitaky ny fampiasana coating SiC. Noho ny fironana miakatra matanjaka amin'ny LED amin'ny indostrian'ny jiro sy fampisehoana, ary ny fivoarana mavitrika amin'ny indostrian'ny semiconductor,Vokatra fanosotra SiCtsara be ny vinavina.
SEHATRA FAMPIASANA
Fahadiovana, Rafitra SEM, famakafakana ny hatevin'nyFandrakofana SiC
Mahatratra 99.9995% ny fahadiovan'ny sosona SiC amin'ny grafita amin'ny fampiasana CVD. Ny firafiny dia fcc. Ny sarimihetsika SiC voarakotra amin'ny grafita dia mitongilana (111) araka ny aseho amin'ny angon-drakitra XRD (Sary 1) izay manondro ny kalitao kristaly avo lenta. Mitovy tsara ny hatevin'ny sarimihetsika SiC araka ny aseho amin'ny Sary 2.
Sary 2: hatevin'ny sarimihetsika SiC mitovy amin'ny SEM sy XRD an'ny sarimihetsika beta-SiC amin'ny grafita
Angon-drakitra SEM an'ny sarimihetsika manify CVD SiC, ny haben'ny kristaly dia 2 ~ 1 Opm
Ny rafitra kristaly amin'ny sarimihetsika CVD SiC dia rafitra kibika mifantoka amin'ny tarehy, ary ny fironana fitomboan'ny sarimihetsika dia manakaiky ny 100%.
Voarakotra silikônina karbida (SiC)Ny fototra no fototra tsara indrindra ho an'ny silisiôma kristaly tokana sy ny epitaksia GaN, izay singa fototra amin'ny lafaoro epitaksia. Ny fototra dia fitaovana famokarana fototra ho an'ny silisiôma monokristalinina ho an'ny faritra mitambatra lehibe. Manana fahadiovana avo lenta izy io, mahatohitra ny mari-pana avo, mahatohitra ny harafesina, tsy miditra amin'ny rivotra tsara ary toetra tsara hafa amin'ny fitaovana.
Fampiharana sy fampiasana vokatra
Fandrakofana fototra grafita ho an'ny fitomboana epitaxial silikônina kristaly tokanaMety amin'ny milina Aixtron, sns.Hatevin'ny fandrakofana: 90~150umNy savaivon'ny lavaka wafer dia 55mm.
Fotoana fandefasana: 14 Martsa 2022