'S e stuth leth-chonnsachaidh ùr measgaichte a th' ann an silicon carbide (SiC). Tha beàrn còmhlan mòr aig silicon carbide (mu 3 uiread silicon), neart achaidh èiginneach àrd (mu 10 uiread silicon), agus seoltachd teirmeach àrd (mu 3 uiread silicon). 'S e stuth leth-chonnsachaidh cudromach den ath ghinealach a th' ann. Tha còmhdach SiC air an cleachdadh gu farsaing ann an gnìomhachas leth-chonnsachaidh agus photovoltaics grèine. Gu sònraichte, tha feum air còmhdach SiC airson na gabhadairean a thathas a’ cleachdadh ann am fàs epitaxial LEDs agus epitaxy criostail singilte Si. Air sgàth gluasad làidir suas LEDs ann an gnìomhachas an t-solais agus an taisbeanaidh, agus leasachadh làidir gnìomhachas an leth-chonnsachaidh,Toradh còmhdach SiCtha na ro-shealladh glè mhath.
RAON TAGRAIDH
Purity, Structar SEM, mion-sgrùdadh tiughCòmhdach SiC
Tha purrachd chòtaichean SiC air grafait le bhith a’ cleachdadh CVD cho àrd ri 99.9995%. Tha an structar aige fcc. Tha na filmichean SiC a tha còmhdaichte air grafait air an stiùireadh (111) mar a chithear anns an dàta XRD (Figear 1) a’ nochdadh a chàileachd criostalach àrd. Tha tiughas film SiC glè èideadh mar a chithear ann am Figear 2.
Figear 2: èideadh tighead fhilmichean SiC SEM agus XRD film beta‐SiC air grafait
Dàta SEM de fhilm tana CVD SiC, tha meud a’ chriostail 2 ~ 1 Opm
Tha structar criostail film CVD SiC na structar ciùbach aghaidh-meadhanaichte, agus tha treòrachadh fàis an fhilm faisg air 100%.
Còmhdaichte le carbide silicon (SiC)’S e am bonn am bonn as fheàrr airson silicon criostail singilte agus epitaxy GaN, a tha na phrìomh phàirt den fhùirneis epitaxy. ’S e am bonn prìomh ghoireas cinneasachaidh airson silicon monocrystalline airson cuairtean amalaichte mòra. Tha purrachd àrd aige, strì an aghaidh teòthachd àrd, strì an aghaidh creimeadh, teannachadh èadhair math agus feartan stuthan sàr-mhath eile.
Cleachdadh is tagradh toraidh
Còmhdach bonn grafait airson fàs epitaxial silicon criostail singilteFreagarrach airson innealan Aixtron, msaaTiughas còmhdach: 90~150umTha trast-thomhas a’ chraicinn wafer 55mm.
Àm puist: 14 Màrt 2022