ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਇੱਕ ਨਵੀਂ ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਵੱਡਾ ਬੈਂਡ ਗੈਪ (ਲਗਭਗ 3 ਗੁਣਾ ਸਿਲੀਕਾਨ), ਉੱਚ ਨਾਜ਼ੁਕ ਖੇਤਰੀ ਤਾਕਤ (ਲਗਭਗ 10 ਗੁਣਾ ਸਿਲੀਕਾਨ), ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ (ਲਗਭਗ 3 ਗੁਣਾ ਸਿਲੀਕਾਨ) ਹੈ। ਇਹ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਅਗਲੀ ਪੀੜ੍ਹੀ ਦਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ। ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਅਤੇ ਸੂਰਜੀ ਫੋਟੋਵੋਲਟੈਕ ਵਿੱਚ SiC ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਦੀ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ, LEDs ਅਤੇ Si ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਦੇ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵਾਧੇ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਸਸੈਪਟਰਾਂ ਲਈ SiC ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਰੋਸ਼ਨੀ ਅਤੇ ਡਿਸਪਲੇ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ LEDs ਦੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ਉੱਪਰ ਵੱਲ ਰੁਝਾਨ, ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਜ਼ੋਰਦਾਰ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਕਾਰਨ,SiC ਕੋਟਿੰਗ ਉਤਪਾਦਸੰਭਾਵਨਾਵਾਂ ਬਹੁਤ ਵਧੀਆ ਹਨ।
ਅਰਜ਼ੀ ਖੇਤਰ
ਸ਼ੁੱਧਤਾ, SEM ਢਾਂਚਾ, ਮੋਟਾਈ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣSiC ਕੋਟਿੰਗ
CVD ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ 'ਤੇ SiC ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ 99.9995% ਤੱਕ ਉੱਚੀ ਹੈ। ਇਸਦੀ ਬਣਤਰ fcc ਹੈ। ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ 'ਤੇ ਕੋਟ ਕੀਤੀਆਂ SiC ਫਿਲਮਾਂ (111) ਓਰੀਐਂਟਿਡ ਹਨ ਜਿਵੇਂ ਕਿ XRD ਡੇਟਾ (ਚਿੱਤਰ 1) ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ ਜੋ ਇਸਦੀ ਉੱਚ ਕ੍ਰਿਸਟਲਿਨ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ। SiC ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਚਿੱਤਰ 2 ਵਿੱਚ ਦਰਸਾਏ ਅਨੁਸਾਰ ਬਹੁਤ ਇਕਸਾਰ ਹੈ।
ਚਿੱਤਰ 2: ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਉੱਤੇ ਬੀਟਾ-SiC ਫਿਲਮ ਦੇ SiC ਫਿਲਮਾਂ SEM ਅਤੇ XRD ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਵਰਦੀ
CVD SiC ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਦਾ SEM ਡੇਟਾ, ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦਾ ਆਕਾਰ 2~1 Opm ਹੈ
CVD SiC ਫਿਲਮ ਦੀ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਬਣਤਰ ਇੱਕ ਚਿਹਰਾ-ਕੇਂਦਰਿਤ ਘਣ ਬਣਤਰ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਵਿਕਾਸ ਸਥਿਤੀ 100% ਦੇ ਨੇੜੇ ਹੈ।
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਕੋਟੇਡਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਅਤੇ GaN ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਲਈ ਬੇਸ ਸਭ ਤੋਂ ਵਧੀਆ ਬੇਸ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਫਰਨੇਸ ਦਾ ਮੁੱਖ ਹਿੱਸਾ ਹੈ। ਵੱਡੇ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਰਕਟਾਂ ਲਈ ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਲਈ ਬੇਸ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਉਤਪਾਦਨ ਸਹਾਇਕ ਉਪਕਰਣ ਹੈ। ਇਸ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਚੰਗੀ ਹਵਾ ਦੀ ਜਕੜ ਅਤੇ ਹੋਰ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਸਮੱਗਰੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹਨ।
ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਅਤੇ ਵਰਤੋਂ
ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਗ੍ਰੋਥ ਲਈ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਬੇਸ ਕੋਟਿੰਗ ਐਕਸਟ੍ਰੋਨ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਆਦਿ ਲਈ ਢੁਕਵੀਂ ਹੈ। ਕੋਟਿੰਗ ਮੋਟਾਈ: 90~150um। ਵੇਫਰ ਕ੍ਰੇਟਰ ਦਾ ਵਿਆਸ 55mm ਹੈ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਮਾਰਚ-14-2022