Karbidi i silikonit (SiC) është një material i ri gjysmëpërçues i përbërë. Karbidi i silikonit ka një boshllëk të madh brezash (rreth 3 herë më të madh se silikoni), forcë të lartë kritike të fushës (rreth 10 herë më të madh se silikoni), përçueshmëri të lartë termike (afërsisht 3 herë më të madh se silikoni). Është një material gjysmëpërçues i rëndësishëm i gjeneratës së ardhshme. Veshjet SiC përdoren gjerësisht në industrinë e gjysmëpërçuesve dhe fotovoltaikët diellorë. Në veçanti, susceptorët e përdorur në rritjen epitaksiale të LED-ve dhe epitaksinë e kristaleve të vetme Si kërkojnë përdorimin e veshjes SiC. Për shkak të trendit të fortë në rritje të LED-ve në industrinë e ndriçimit dhe ekranit, dhe zhvillimit të fuqishëm të industrisë së gjysmëpërçuesve,Produkt veshjeje SiCperspektivat janë shumë të mira.
FUSHA E ZBATIMIT
Pastërtia, Struktura SEM, analiza e trashësisë sëVeshje SiC
Pastërtia e veshjeve SiC mbi grafit duke përdorur CVD është deri në 99.9995%. Struktura e saj është fcc. Filmat SiC të veshur me grafit janë të orientuar (111) siç tregohet në të dhënat XRD (Fig. 1) duke treguar cilësinë e tij të lartë kristalore. Trashësia e filmit SiC është shumë uniforme siç tregohet në Fig. 2.
Fig. 2: uniforma e trashësisë së filmave SiC SEM dhe XRD e filmit beta-SiC në grafit
Të dhënat SEM të filmit të hollë CVD SiC, madhësia e kristalit është 2~1 Opm
Struktura kristalore e filmit CVD SiC është një strukturë kubike e përqendruar në fytyrë, dhe orientimi i rritjes së filmit është afër 100%.
I veshur me karbid silikoni (SiC)Baza është baza më e mirë për silicin monokristalin dhe epitaksinë GaN, e cila është përbërësi kryesor i furrës së epitaksisë. Baza është një aksesor kyç prodhimi për silicin monokristalin për qarqe të mëdha të integruara. Ajo ka pastërti të lartë, rezistencë ndaj temperaturave të larta, rezistencë ndaj korrozionit, hermeticitet të mirë të ajrit dhe karakteristika të tjera të shkëlqyera të materialit.
Zbatimi dhe përdorimi i produktit
Veshje bazë grafiti për rritje epitaksiale të silikonit monokristalor. I përshtatshëm për makinat Aixtron, etj., Trashësia e veshjes: 90~150um. Diametri i kraterit të pllakës është 55 mm.
Koha e postimit: 14 Mars 2022