ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ) አዲስ የተዋሃደ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ነው። ሲሊከን ካርቦይድ ትልቅ የባንድ ክፍተት (3 እጥፍ ሲሊከን)፣ ከፍተኛ ወሳኝ የመስክ ጥንካሬ (10 እጥፍ ሲሊከን)፣ ከፍተኛ የሙቀት አማቂነት (3 እጥፍ ሲሊከን) አለው። አስፈላጊ የቀጣዩ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ነው። የሲሲ ሽፋኖች በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ እና በፀሐይ ፎቶቮልታይኮች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ። በተለይም፣ በኤልኢዲዎች እና በሲ ነጠላ ክሪስታል ኤፒታክሲ እድገት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት የሱስ ተከላዎች የሲሲ ሽፋን መጠቀም ያስፈልጋቸዋል። በብርሃን እና በማሳያ ኢንዱስትሪ ውስጥ ባለው ጠንካራ የኤልኢዲዎች አዝማሚያ እና በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪው ጠንካራ እድገት ምክንያት፣የሲሲ ሽፋን ምርትተስፋ ሰጪዎች በጣም ጥሩ ናቸው።


የማመልከቻ መስክ
ንፅህና፣ የSEM መዋቅር፣ የውፍረት ትንተናየሲሲ ሽፋን
የሲሲሲ ሽፋኖች በሲቪዲ (CVD) በመጠቀም በግራፍይት ላይ ያለው ንፁህነት እስከ 99.9995% ይደርሳል። አወቃቀሩ fcc ነው። በግራፋይት ላይ የተሸፈኑት የሲሲ ፊልሞች (111) በXRD መረጃ (ምስል 1) ላይ እንደሚታየው ከፍተኛ የክሪስታሊን ጥራት ያሳያል። የሲሲ ፊልም ውፍረት በምስል 2 ላይ እንደሚታየው በጣም ተመሳሳይ ነው።


ምስል 2፡ በግራፋይት ላይ የቤታ-ሲሲ ፊልም የSEM እና XRD የውፍረት ወጥነት
የሲቪዲ ሲሲ ቀጭን ፊልም የSEM መረጃ፣ የክሪስታል መጠኑ 2 ~ 1 ኦፒኤም ነው
የCVD SiC ፊልም ክሪስታል መዋቅር ፊት ላይ ያተኮረ ኩብ መዋቅር ሲሆን የፊልም እድገት አቅጣጫው ወደ 100% የሚጠጋ ነው።
ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ) የተሸፈነቤዝ ለነጠላ ክሪስታል ሲሊከን እና ለ GaN ኤፒታክሲ ምርጥ መሠረት ሲሆን ይህም የኤፒታክሲ እቶን ዋና አካል ነው። መሠረቱ ለትላልቅ የተቀናጁ ወረዳዎች ሞኖክሪስታሊን ሲሊከን ቁልፍ የምርት መለዋወጫ ነው። ከፍተኛ ንፅህና፣ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ጥሩ የአየር ጥብቅነት እና ሌሎች እጅግ በጣም ጥሩ የቁሳቁስ ባህሪያት አሉት።
የምርት አተገባበር እና አጠቃቀም
ለነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ኤፒታክሲያል እድገት የግራፋይት ቤዝ ሽፋን ለአይክስትሮን ማሽኖች፣ ወዘተ ተስማሚ የሽፋን ውፍረት፡ 90~150umየዋፈር ጉድጓድ ዲያሜትር 55 ሚሜ ነው።
የፖስታ ሰዓት፡- ማርች-14-2022