Silizio karburoa (SiC) konposatu erdieroale material berria da. Silizio karburoak banda-tarte handia du (silizioa baino 3 aldiz gehiago), eremu kritikoaren intentsitate handia (silizioa baino 10 aldiz gehiago) eta eroankortasun termiko handia (silizioa baino 3 aldiz gehiago). Hurrengo belaunaldiko erdieroale material garrantzitsua da. SiC estaldurak asko erabiltzen dira erdieroaleen industrian eta eguzki-energia fotovoltaikoan. Bereziki, LEDen hazkuntza epitaxialean eta Si kristal bakarreko epitaxian erabiltzen diren suszeptoreek SiC estaldura erabiltzea eskatzen dute. Argiztapen eta pantaila industrian LEDek goranzko joera handia izan dutelako eta erdieroaleen industriaren garapen bizia dela eta,SiC estaldura produktuaperspektibak oso onak dira.
APLIKAZIO EREMUA
Purutasuna, SEM egitura, lodiera-analisiaSiC estaldura
CVD bidez grafitoan egindako SiC estalduraren purutasuna % 99,9995ekoa da. Bere egitura fcc da. Grafitoan estalitako SiC filmak (111) orientatuta daude XRD datuetan (1. irudia) erakusten den bezala, eta horrek bere kristal-kalitate handia adierazten du. SiC filmaren lodiera oso uniformea da, 2. irudian erakusten den bezala.
2. irudia: SiC filmen lodiera uniformea beta-SiC filmaren SEM eta XRD grafitoan
CVD SiC film mehearen SEM datuak, kristalaren tamaina 2~1 Opm da
CVD SiC filmaren kristal-egitura aurpegi-zentratutako egitura kubikoa da, eta filmaren hazkuntza-orientazioa %100etik gertu dago.
Silizio karburoz (SiC) estalitakoOinarria silizio monokristalino eta GaN epitaxiarako oinarririk onena da, epitaxia labearen osagai nagusia baita. Oinarria zirkuitu integratu handietarako silizio monokristalinoaren ekoizpen osagarri gakoa da. Purutasun handia, tenperatura altuarekiko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia, airearekiko hermetikotasun ona eta beste material ezaugarri bikainak ditu.
Produktuaren aplikazioa eta erabilera
Kristal bakarreko siliziozko epitaxial hazkuntzarako grafito oinarri estaldura Aixtron makinetarako eta abarretarako egokia Estalduraren lodiera: 90~150um Oblearen kraterraren diametroa 55 mm-koa da.
Argitaratze data: 2022ko martxoaren 14a