Кремний карбиди (SiC) – жаңы кошулма жарым өткөргүч материал. Кремний карбиди чоң тилкелүү аралыкка (кремнийден болжол менен 3 эсе), жогорку критикалык талаанын чыңалуусуна (кремнийден болжол менен 10 эсе), жогорку жылуулук өткөргүчтүгүнө (кремнийден болжол менен 3 эсе) ээ. Бул маанилүү кийинки муундагы жарым өткөргүч материал. SiC каптамалары жарым өткөргүч өнөр жайында жана күн фотоэлектрикасында кеңири колдонулат. Атап айтканда, светодиоддордун эпитаксиалдык өсүшүндө жана Si бир кристаллдык эпитаксиасында колдонулган сусцепторлор SiC каптамасын колдонууну талап кылат. Жарыктандыруу жана дисплей өнөр жайындагы светодиоддордун күчтүү өсүү тенденциясына жана жарым өткөргүч өнөр жайынын күчтүү өнүгүшүнө байланыштуу,SiC каптоо продуктусукелечеги абдан жакшы.
КОЛДОНУУ ТАЛААСЫ
Тазалыгы, SEM түзүлүшү, калыңдыгын талдооSiC каптоо
Графитке CVD колдонуу менен капталган SiC каптамаларынын тазалыгы 99,9995% га чейин жетет. Анын түзүлүшү fcc. Графитке капталган SiC пленкалары (111) рентгендик томография маалыматтарында (1-сүрөт) көрсөтүлгөндөй багытталган, бул анын жогорку кристаллдык сапатын көрсөтүп турат. SiC пленкасынын калыңдыгы 2-сүрөттө көрсөтүлгөндөй абдан бирдей.
2-сүрөт: SiC пленкаларынын калыңдыгынын бирдейлиги. Графиттеги бета-SiC пленкасынын SEM жана рентгендик рефлекси.
CVD SiC жука пленкасынын SEM маалыматтары, кристаллдын өлчөмү 2 ~ 1 Опм
CVD SiC пленкасынын кристаллдык түзүлүшү бетке багытталган кубдук түзүлүш болуп саналат жана пленканын өсүү багыты 100% га жакын.
Кремний карбиди (SiC) менен капталганнегиз - монокристалл кремний жана эпитаксия мешинин негизги компоненти болгон GaN эпитаксиясы үчүн эң жакшы негиз. Негиз - ири интегралдык микросхемалар үчүн монокристалл кремнийди өндүрүүнүн негизги аксессуары. Ал жогорку тазалыкка, жогорку температурага туруктуулукка, коррозияга туруктуулукка, жакшы аба өткөрбөөчүлүккө жана башка эң сонун материалдык мүнөздөмөлөргө ээ.
Продукциянын колдонулушу жана колдонулушу
Монокристалл кремний эпитаксиалдык өсүшү үчүн графит негизи каптоо Aixtron машиналары ж.б. үчүн ылайыктуу Каптоо калыңдыгы: 90~150 мкм Вафли кратеринин диаметри 55 мм.
Жарыяланган убактысы: 2022-жылдын 14-марты