سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) هڪ نئون مرڪب سيمي ڪنڊڪٽر مواد آهي. سلڪون ڪاربائيڊ ۾ هڪ وڏو بينڊ گيپ (تقريبن 3 ڀيرا سلڪون)، اعليٰ نازڪ فيلڊ طاقت (تقريبن 10 ڀيرا سلڪون)، اعليٰ حرارتي چالکائي (تقريبن 3 ڀيرا سلڪون) آهي. اهو ايندڙ نسل جو هڪ اهم سيمي ڪنڊڪٽر مواد آهي. سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۽ سولر فوٽو وولٽيڪس ۾ سيمي ڪنڊڪٽر ڪوٽنگ وڏي پيماني تي استعمال ٿينديون آهن. خاص طور تي، ايل اي ڊيز ۽ سي سنگل ڪرسٽل ايپيٽيڪسي جي ايپيٽيڪسيل واڌ ۾ استعمال ٿيندڙ سسپيٽرز کي سيمي ڪوٽنگ جي استعمال جي ضرورت هوندي آهي. روشني ۽ ڊسپلي انڊسٽري ۾ ايل اي ڊيز جي مضبوط مٿي جي رجحان ۽ سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي زوردار ترقي جي ڪري،سي سي ڪوٽنگ پراڊڪٽامڪان تمام سٺا آهن.


درخواست جو ميدان
پاڪائي، SEM جوڙجڪ، ٿولهه جو تجزيوسي سي ڪوٽنگ
CVD استعمال ڪندي گريفائٽ تي SiC ڪوٽنگن جي پاڪائي 99.9995٪ تائين آهي. ان جي جوڙجڪ fcc آهي. گريفائٽ تي ڪوٽ ٿيل SiC فلمون (111) تي ٻڌل آهن جيئن XRD ڊيٽا (شڪل 1) ۾ ڏيکاريل آهي جيڪو ان جي اعليٰ ڪرسٽل معيار کي ظاهر ڪري ٿو. SiC فلم جي ٿولهه تمام گهڻي هڪجهڙائي آهي جيئن شڪل 2 ۾ ڏيکاريل آهي.


شڪل 2: گريفائٽ تي بيٽا-سي سي فلم جي SiC فلمن جي ٿولهه جي وردي SEM ۽ XRD
سي وي ڊي سي آءِ سي پتلي فلم جو ايس اي ايم ڊيٽا، ڪرسٽل سائيز 2 ~ 1 او پي ايم آهي
سي وي ڊي سي آءِ سي فلم جي ڪرسٽل ڍانچي هڪ چهري تي مرڪوز ڪعبي ڍانچي آهي، ۽ فلم جي واڌ ويجهه 100٪ جي ويجهو آهي.
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ڪوٽيڊسنگل ڪرسٽل سلڪون ۽ GaN ايپيٽڪسي لاءِ بيس بهترين بيس آهي، جيڪو ايپيٽڪسي فرنس جو بنيادي جزو آهي. بيس وڏي انٽيگريٽڊ سرڪٽ لاءِ مونو ڪرسٽل لائن سلڪون لاءِ هڪ اهم پيداواري لوازمات آهي. ان ۾ اعليٰ پاڪائي، اعليٰ گرمي پد جي مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، سٺي هوا جي تنگي ۽ ٻيون بهترين مواد خاصيتون آهن.
پيداوار جي درخواست ۽ استعمال
سنگل ڪرسٽل سلڪون ايپيٽيڪسيل واڌ لاءِ گريفائيٽ بيس ڪوٽنگ ايڪسٽران مشينن وغيره لاءِ مناسب ڪوٽنگ جي ٿولهه: 90~150um ويفر ڪريٽر جو قطر 55 ملي ميٽر آهي.
پوسٽ جو وقت: مارچ-14-2022