சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஒரு புதிய கூட்டு குறைக்கடத்திப் பொருளாகும். சிலிக்கான் கார்பைடு ஒரு பெரிய பட்டை இடைவெளியையும் (சிலிக்கானை விட சுமார் 3 மடங்கு), உயர் மாறுநிலைப்புல வலிமையையும் (சிலிக்கானை விட சுமார் 10 மடங்கு), உயர் வெப்பக் கடத்துத்திறனையும் (சிலிக்கானை விட சுமார் 3 மடங்கு) கொண்டுள்ளது. இது ஒரு முக்கியமான அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்திப் பொருளாகும். SiC பூச்சுகள் குறைக்கடத்தித் தொழில் மற்றும் சூரிய ஒளிமின்னழுத்தத்தில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. குறிப்பாக, LED-களின் புறவளர்ச்சி மற்றும் Si ஒற்றைப் படிகப் புறவளர்ச்சியில் பயன்படுத்தப்படும் ஏற்பிகளுக்கு SiC பூச்சின் பயன்பாடு அவசியமாகிறது. ஒளி மற்றும் காட்சித் துறையில் LED-களின் வலுவான வளர்ச்சிப் போக்கு மற்றும் குறைக்கடத்தித் துறையின் தீவிர வளர்ச்சி காரணமாக,SiC பூச்சு தயாரிப்புவாய்ப்புகள் மிகவும் நன்றாக உள்ளன.
விண்ணப்ப புலம்
தூய்மை, SEM அமைப்பு, தடிமன் பகுப்பாய்வுSiC பூச்சு
CVD முறையைப் பயன்படுத்தி கிராஃபைட்டின் மீது பூசப்பட்ட SiC பூச்சுகளின் தூய்மை 99.9995% வரை அதிகமாக உள்ளது. இதன் அமைப்பு fcc ஆகும். XRD தரவுகளில் (படம் 1) காட்டப்பட்டுள்ளபடி, கிராஃபைட்டின் மீது பூசப்பட்ட SiC படலங்கள் (111) திசைநோக்குடன் அமைந்துள்ளன, இது அதன் உயர் படிகத் தரத்தைக் குறிக்கிறது. படம் 2-ல் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, SiC படலத்தின் தடிமன் மிகவும் சீராக உள்ளது.
படம் 2: கிராஃபைட்டின் மீதுள்ள பீட்டா-SiC படலத்தின் சீரான தடிமன் மற்றும் SEM, XRD.
CVD SiC மென்படலத்தின் SEM தரவுகளின்படி, படிகத்தின் அளவு 2~1 Opm ஆகும்.
CVD SiC படலத்தின் படிக அமைப்பு ஒரு முக-மைய கனசதுர அமைப்பாகும், மேலும் படல வளர்ச்சி நோக்குநிலை கிட்டத்தட்ட 100% ஆகும்.
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்டஒற்றைப் படிக சிலிக்கான் மற்றும் GaN எபிடாக்ஸிக்கு இந்த அடித்தளமே சிறந்ததாகும், இது எபிடாக்ஸி உலையின் முக்கிய அங்கமாகும். பெரிய ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கான ஒற்றைப் படிக சிலிக்கானின் முக்கிய உற்பத்தி துணைக்கருவியாக இந்த அடித்தளம் விளங்குகிறது. இது உயர் தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, நல்ல காற்றுப்புகாத் தன்மை மற்றும் பிற சிறந்த பொருள் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது.
தயாரிப்பு பயன்பாடு மற்றும் உபயோகம்
ஒற்றைப் படிக சிலிக்கான் எபிடெக்சியல் வளர்ச்சிக்கான கிராஃபைட் அடிப்படைப் பூச்சு. ஐக்ஸ்ட்ரான் இயந்திரங்கள் போன்றவற்றுக்கு ஏற்றது. பூச்சின் தடிமன்: 90~150 மைக்ரோமீட்டர். வேஃபர் பள்ளத்தின் விட்டம் 55 மிமீ ஆகும்.
பதிவிட்ட நேரம்: மார்ச்-14-2022