Silikon karbida (SiC) nyaéta bahan semikonduktor sanyawa anyar. Silikon karbida miboga celah pita anu ageung (sakitar 3 kali silikon), kakuatan medan kritis anu luhur (sakitar 10 kali silikon), konduktivitas termal anu luhur (sakitar 3 kali silikon). Ieu mangrupikeun bahan semikonduktor generasi salajengna anu penting. Lapisan SiC seueur dianggo dina industri semikonduktor sareng fotovoltaik surya. Khususna, suseptor anu dianggo dina kamekaran epitaksi LED sareng epitaksi kristal tunggal Si meryogikeun panggunaan lapisan SiC. Kusabab tren LED anu ningkat dina industri pencahayaan sareng tampilan, sareng kamekaran industri semikonduktor anu kuat,Produk palapis SiCprospekna sae pisan.
WIDANG APLIKASI
Kamurnian, Struktur SEM, analisis ketebalanLapisan SiC
Kamurnian lapisan SiC dina grafit ku ngagunakeun CVD nyaéta 99,9995%. Strukturna fcc. Pilem SiC anu dilapis dina grafit diorientasikeun (111) sapertos anu dipidangkeun dina data XRD (Gambar 1) anu nunjukkeun kualitas kristalna anu luhur. Kandelna pilem SiC seragam pisan sapertos anu dipidangkeun dina Gambar 2.
Gambar 2: ketebalan seragam pilem SiC SEM sareng XRD pilem beta-SiC dina grafit
Data SEM tina pilem ipis CVD SiC, ukuran kristalna nyaéta 2 ~ 1 Opm
Struktur kristal pilem CVD SiC mangrupikeun struktur kubik anu berpusat di beungeut, sareng orientasi kamekaran pilem caket kana 100%
Dilapis ku silikon karbida (SiC)Basa mangrupikeun basa anu pangsaéna pikeun silikon kristal tunggal sareng epitaksi GaN, anu mangrupikeun komponén inti tina tungku epitaksi. Basa mangrupikeun aksésoris produksi konci pikeun silikon monokristalin pikeun sirkuit terpadu anu ageung. Éta ngagaduhan kamurnian anu luhur, résistansi suhu anu luhur, résistansi korosi, kedap hawa anu saé sareng karakteristik bahan anu saé anu sanésna.
Aplikasi sareng panggunaan produk
Lapisan dasar grafit pikeun kamekaran epitaksial silikon kristal tunggalCocog pikeun mesin Aixtron, jsb.Katebalan lapisan: 90~150umDiaméter kawah wafer nyaéta 55mm.
Waktos posting: 14-Mar-2022