Il-karbur tas-silikon (SiC) huwa materjal semikonduttur kompost ġdid. Il-karbur tas-silikon għandu band gap kbir (madwar 3 darbiet is-silikon), saħħa kritika għolja tal-kamp (madwar 10 darbiet is-silikon), u konduttività termali għolja (madwar 3 darbiet is-silikon). Huwa materjal semikonduttur importanti tal-ġenerazzjoni li jmiss. Il-kisi tas-SiC jintuża ħafna fl-industrija tas-semikondutturi u l-fotovoltajċi solari. B'mod partikolari, is-susċetturi użati fit-tkabbir epitassjali tal-LEDs u l-epitassija ta' kristall wieħed tas-Si jeħtieġu l-użu ta' kisi tas-SiC. Minħabba x-xejra qawwija 'l fuq tal-LEDs fl-industrija tad-dawl u l-wiri, u l-iżvilupp vigoruż tal-industrija tas-semikondutturi,Prodott tal-kisi tas-SiCil-prospetti huma tajbin ħafna.
QASAM TA' APPLIKAZZJONI
Purità, Struttura SEM, analiżi tal-ħxuna ta'Kisi tas-SiC
Il-purità tal-kisi tas-SiC fuq il-grafita bl-użu tas-CVD hija għolja daqs 99.9995%. L-istruttura tiegħu hija fcc. Il-films tas-SiC miksija fuq il-grafita huma orjentati (111) kif muri fid-dejta XRD (Fig. 1) li tindika l-kwalità kristallina għolja tagħhom. Il-ħxuna tal-film tas-SiC hija uniformi ħafna kif muri fil-Fig. 2.
Fig. 2: ħxuna uniformi tal-films tas-SiC SEM u XRD tal-film beta-SiC fuq il-grafita
Dejta SEM ta' film irqiq CVD SiC, id-daqs tal-kristall huwa 2 ~ 1 Opm
L-istruttura kristallina tal-film CVD SiC hija struttura kubika ċċentrata fuq il-wiċċ, u l-orjentazzjoni tat-tkabbir tal-film hija qrib il-100%
Miksi bil-karbur tas-silikon (SiC)Il-bażi hija l-aħjar bażi għas-silikon monokristallin u l-epitassija GaN, li huwa l-komponent ewlieni tal-forn tal-epitassija. Il-bażi hija aċċessorju ewlieni tal-produzzjoni għas-silikon monokristallin għal ċirkwiti integrati kbar. Għandha purità għolja, reżistenza għat-temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, siġillar tajjeb għall-arja u karatteristiċi materjali eċċellenti oħra.
Applikazzjoni u użu tal-prodott
Kisi bażi tal-grafita għat-tkabbir epitassjali tas-silikon kristallin wieħed Adattat għal magni Aixtron, eċċ. Ħxuna tal-kisi: 90 ~ 150um Id-dijametru tal-krater tal-wejfer huwa 55mm.
Ħin tal-posta: 14 ta' Marzu 2022