O le Silicon carbide (SiC) o se mea fou fa'aputuga semiconductor. O le Silicon carbide e iai se vaeluaga tele o le fusi (pe tusa ma le 3 taimi o le silicon), malosi tele o le fanua taua (pe tusa ma le 10 taimi o le silicon), maualuga le fa'avevela (pe tusa ma le 3 taimi o le silicon). O se mea taua tele o le semiconductor o le isi tupulaga. O ufiufi SiC e fa'aaogaina lautele i le alamanuia semiconductor ma le photovoltaics o le la. Ae maise lava, o susceptors e fa'aaogaina i le tuputupu a'e epitaxial o LEDs ma le Si single crystal epitaxy e mana'omia ai le fa'aaogaina o le ufiufi SiC. Ona o le malosi o le aga'i i luga o LEDs i le alamanuia moli ma fa'aaliga, ma le atina'eina malosi o le alamanuia semiconductor,Oloa ufiufi SiCe lelei tele faʻamoemoega.
VAEGA O TALOSAGA
Mama, Fausaga SEM, auiliiliga o le mafiafia oUfiufi SiC
O le mama o ufiufi SiC i luga o le graphite e ala i le faʻaaogaina o le CVD e oʻo atu i le 99.9995%. O lona fausaga e fcc. O ata tifaga SiC ua ufiufi i luga o le graphite e (111) faʻatulagaina e pei ona faʻaalia i faʻamatalaga XRD (Ata.1) e faʻaalia ai lona maualuga o le tulaga lelei o le crystalline. O le mafiafia o le ata tifaga SiC e matua tutusa lava e pei ona faʻaalia i le Ata. 2.
Ata 2: mafiafia tutusa o ata tifaga SiC SEM ma le XRD o le ata tifaga beta-SiC i luga o le graphite
Fa'amaumauga SEM o le ata manifinifi CVD SiC, o le tele o le tioata e 2 ~ 1 Opm
O le fausaga tioata o le ata tifaga CVD SiC o se fausaga kupita e ogatotonu i foliga, ma o le faʻatulagaga o le tuputupu aʻe o le ata tifaga e lata i le 100%
Ufiufi i le Silicon carbide (SiC)O le fa'avae o le fa'avae sili lea mo le silicon tioata e tasi ma le GaN epitaxy, o le vaega autū lea o le ogaumu epitaxy. O le fa'avae o se mea fa'aopoopo autu mo le gaosiga o le monocrystalline silicon mo matagaluega tu'ufa'atasi tetele. E maualuga lona mama, tete'e atu i le vevela maualuga, tete'e atu i le 'ele, lelei le ufi o le ea ma isi uiga lelei o meafaitino.
Fa'aaogaina ma le fa'aaogaina o le oloa
Ufiufi fa'avae graphite mo le tuputupu a'e epitaxial silicon tioata e tasi Talafeagai mo masini Aixtron, ma isi. Mafiafia o le ufiufi: 90~150um. O le lautele o le lua o le wafer e 55mm.
Taimi na lafoina ai: Mati-14-2022